[发明专利]感光器件、X射线探测器及医用设备

说明书

本申请提供了一种感光器件，包括感光层由多个填充物堆叠而成，所述填充物为均匀分布的纳米孔结构，且所述纳米孔结构内填充有气态硒；第一电极设于感光层的入光侧；第二电极设于感光层的出光侧；本申请还提供一种X射线探测器以及医用设备。本申请实施例的感光器件采用在感光层由多个填充物堆叠而成，填充物为均匀分布的纳米孔结构，且纳米孔结构内填充有气态硒，以增加光线的接触面积，增加感光层的光灵敏度，从而提高感光层的光吸收效率，提高感光层的光转换效率。

技术领域

本申请涉及探测器领域，特别涉及一种感光器件、X射线探测器及医用设备。

背景技术

这里的陈述仅提供与本申请有关的背景信息，而不必然地构成示例性技术。

X射线探测器广泛应用于医疗仪器上，如，利用X射线进行胸透成像，X射线探测器的光电转换功能主要由非晶硅感光器件完成，X射线经闪烁体(目前主要为CsI)转换成可见光，再经非晶硅感光器件将可见光转换成电信号由薄膜晶体管(Thin film transistor,简称TFT)。由于非晶硅的结构不够稳定、光转换效率低，导致非晶硅感光器件吸收的光波范围较宽，对光的转换不够灵敏，降低了X射线探测器光吸收效率以及光转换效率。

发明内容

本申请的主要目的是提供一种感光器件、X射线探测器及医用设备，旨在解决X射线探测器光吸收效率低以及光转换效率低的问题。

为实现上述目的，本申请提出的感光器件，所述感光器件包括：

感光层，所述感光层由多个填充物堆叠而成，所述填充物为均匀分布的纳米孔结构，且所述纳米孔结构内填充有气态硒；

第一电极，所述第一电极设于所述感光层的入光侧；

第二电极，所述第二电极设于所述感光层的出光侧。

可选地，所述纳米孔结构的孔直径为2nm～10nm。

可选地，所述填充物由Si_xO_y形成。

可选地，所述第一电极为透明电极，所述第二电极3为金属电极

在本申请的实施例中，包括感光层由多个填充物堆叠而成，所述填充物为均匀分布的纳米孔结构，且所述纳米孔结构内填充有气态硒；第一电极设于感光层的入光侧；第二电极设于感光层的出光侧。本申请实施例的感光器件采用在感光层由多个填充物堆叠而成，填充物为均匀分布的纳米孔结构，且纳米孔结构内填充有气态硒，以增加光线的接触面积，增加感光层的光灵敏度，从而提高感光层的光吸收效率，提高感光层的光转换效率。

本申请还提出一种X射线探测器，所述X射线探测器包括基板以及上述的感光器件，所述感光器件设于所述X射线探测器的入光侧，以感知X射线的光强度，并转换成电信号；

所述X射线探测器还包括：

信号读取元件，所述信号读取元件设于所述基板上且与所述感光器件电连接，以接收并读取所述感光器件转换后的电信号。

可选地，所述X射线探测器还包括保护层，所述保护层填充于所述信号读取元件与所述感光器件之间的空隙，将所述信号读取元件与外界环境隔离。

可选地，所述保护层的厚度为500nm～2000nm。

可选地，所述感光器件的第二电极穿透所述保护层与所述信号读取元件的漏极电连接；

且/或，所述感光器件的第二电极通过导线与所述信号读取元件的漏极电连接。

本申请技术方案采用上述的感光器件，并在感光器件的感光层中堆叠多个填充物，填充物为均匀分布的纳米孔结构，且纳米孔结构内填充有气态硒，以增加光线的接触面积，增加感光层的光灵敏度，从而提高感光层的光吸收效率，提高感光层的光转换效率。