[发明专利]一种高效率高密度低温等离子体发生制备器

权利要求书

1.一种高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，所述离子体发生制备器为多层腔室结构，用于将气态介质生成等离子体，腔室外部设有等离子发生器，等离子发生器金属器件作为表面等离激元共振件，待反应气体通过输送器件输送至离子体发生制备器内，离子体发生制备器内由进气端到排气端依次设置有与等离子发生器连接的光子放大金属构件、光子解耦金属构件和光反应金属构件。

2.如权利要求1所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，所述气态介质包括空气或分子、生物分子、微生物及其任意组合。

3.如权利要求1所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，所述等离子体包括受激分子、自由基、离子、自由电子光子及其任意组合。

4.如权利要求1所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，在所述腔室内部至少设有一个电极，在所述电极上施加有电压或者高电压。

5.如权利要求1所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，所述光子放大金属构件为设有均匀且等距离穿孔的透射板栅和/或衍射光栅，在所述板栅的表面附着有工业钻石涂层，或富勒烯涂层，或镍涂层。

6.如权利要求5所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，在所述金属构件的两端设有绝缘构件，所述腔室形成于金属构件与绝缘构件之间以及由绝缘构件制成的排气腔室，在与气态介质流通方向垂直的金属构件与绝缘构件上均布由若干个通气孔，在金属构件上还设有若干根均匀分布的放电针。

7.如权利要求6所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，在所述腔室内部光子放大金属构件的中心设有圆筒结构的网板，在所述网板的表面附着有工业钻石涂层，或富勒烯涂层，或镍涂层。

8.如权利要求7所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，在所述圆筒结构网板的表面均布有若干根径向放电针。

9.如权利要求8所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，在所述金属构件上加载有周期震荡的电磁震荡波。

10.如权利要求1所述的高效率高密度低温等离子体发生制备器，其特征在于，所述金属构件与绝缘构件之间通过绝缘连接件和螺钉相互连接。