[发明专利]抗砂尘高温粘附的自层剥涂层及其制备方法有效
申请号: | 201910009830.3 | 申请日: | 2019-01-05 |
公开(公告)号: | CN109536873B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 杨冠军;刘梅军;李广荣;刘宏;韩嘉琪;李长久;李成新 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C4/134 | 分类号: | C23C4/134;C23C4/11 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 田洲 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抗砂尘 高温 粘附 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.抗砂尘高温粘附的自层剥涂层,其特征在于,包括涂层实体层级堆积结构;
自层剥涂层总厚度为5μm~500μm;
每层层级结构厚度是自层剥涂层总厚度的0.002~0.998倍,每层层级结构之间由粘接层粘接;
自层剥涂层具有纵向孔隙;所述纵向孔隙是指由涂层表面至涂层底部具有贯穿性和/或非贯穿性纵向孔隙结构,自层剥涂层被纵向孔隙分隔为孤立的树状结构;
涂层实体层级堆积结构是由具有柱状和/或树状结构的各层级结构由基体表面至涂层表面逐层堆积;
涂层具体堆积方式为:每层层级结构间纵向孔隙相互贯通的堆积方式、每层层级结构间纵向孔隙不相互贯通的堆积方式,或上述两种方式混合的堆积方式;
每层层级结构的材质为氧化锆、氧化钇稳定的氧化锆、锆酸镧中的一种或两种;
粘接层为团簇、熔融液滴、半熔材料颗粒中的一种或多种。
2.根据权利要求1所述的抗砂尘高温粘附的自层剥涂层,其特征在于,涂层实体层级堆积结构中每层层级结构的柱状和/或树状结构数量相同或者不同;不同时,每层数量相差不超过±50%。
3.根据权利要求1所述的抗砂尘高温粘附的自层剥涂层,其特征在于,涂层实体层级堆积结构中每层层级结构的柱状和/或树状结构的沉积单元为气相材料粒子和/或纳米级材料粒子,当沉积单元为气相材料粒子和纳米级材料粒子时,气相材料粒子体积百分比为G,纳米级材料粒子的体积百分比为H,50%≤G<100%;0<H≤50%。
4.权利要求1至3中任一项所述的抗砂尘高温粘附的自层剥涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将高温合金基体表面清洁干净之后放置在真空腔室内;控制腔室压力为100~500Pa;利用不含涂层材料的等离子束流对高温合金基体进行预热至600~950℃;
(2)利用等离子气体加热涂层材料粉末,形成由气相材料粒子流与高能等离子气体组成的混合高速流,混合高速流施加到基体表面进行扫描沉积,制备形成柱状和/或树状结构的涂层;以氩气、氢气的混合气体,或者氩气、氢气和氦气的混合气体作为等离子气体加热涂层材料粉末,送粉率设置为0.02~50g/min;其中基体位置距粉末送入等离子束流处800mm-1200mm,涂层材料粉末为氧化锆、氧化钇稳定的氧化锆、锆酸镧中的一种或两种;
(3)然后调整基体位置,基体位置调整至距粉末送入等离子束流处500mm-600mm或1200mm-1500mm,形成由团簇流与高能等离子气体组成的混合高速流,由团簇流与高能等离子气体组成的混合高速流进行粘接层的制备,形成粘接层;
(4)重复(2)与(3)过程,最终制备得到5μm~500μm的抗砂尘高温粘附的自层剥涂层。
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