[发明专利]一种具有电致变色性能的W18 有效
| 申请号： | 201910008602.4 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109455946B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 钱旦;宋忠孝;梁琴;李茜;李雁淮 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 变色 性能 base sub 18 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有电致变色性能的W18O49/WO3复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)利用直流反应溅射法在清洁的FTO导电玻璃表面沉积氧化钨，退火得到WO3层；
2)在反应釜内放置前驱体溶液，沉积有WO3层的FTO导电玻璃置于反应釜内，FTO导电玻璃的WO3层高出液面0.5-3mm；
所述前驱体溶液为质量分数为0.169wt.％的WCl6，溶剂为乙醇；
3)反应釜在预设温度下反应预设时间后，取出后得到具有W18O49/WO3复合薄膜的FTO导电玻璃；
所述预设温度为175-185℃，预设时间为9.5-10h。
2.根据权利要求1所述的具有电致变色性能的W18O49/WO3复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)中直流磁控溅射参数为，本底真空度低于6×10-4Pa，常温，溅射功率为70W，工作气压为0.6Pa，工作气体Ar和O2流量比为20:3。
3.一种具有电致变色性能的W18O49/WO3复合薄膜，其特征在于，根据权利要求1或2的制备方法制备得到。
4.根据权利要求3所述的具有电致变色性能的W18O49/WO3复合薄膜，其特征在于，所述WO3为致密层，厚度为30-220nm；所述W18O49层的厚度为200-300nm。
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