[发明专利]光测距装置以及加工装置

权利要求书

1.一种光测距装置，具备：

光输出部，将频率伴随时间的经过而变化的频率扫描光作为参考光来输出，并且对所述频率扫描光的偏振波进行复用，输出相互正交的第一以及第二偏振波的频率扫描光；

光收发部，向测定对象物照射所述第一以及第二偏振波的频率扫描光，将被所述测定对象物反射的频率扫描光作为反射光来接收；

光干涉部，将所述反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，从所述第一偏振波的反射光与所述参考光的干涉光抽取相互正交的第一以及第二分量，从所述第二偏振波的反射光与所述参考光的干涉光抽取相互正交的第三以及第四分量；

偏振波旋转部，通过使具有所述第一以及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有所述第三以及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转，取得偏振波的水平分量以及垂直分量之中的一个以上的分量；以及

距离计算部，根据由所述偏振波旋转部取得的分量，计算所述反射光的频率与所述参考光的频率的差分，并根据所述差分计算直至所述测定对象物为止的距离。

2.根据权利要求1所述的光测距装置，其特征在于，

所述距离计算部具备：

谱计算部，如果由所述偏振波旋转部取得水平分量，则计算所述水平分量的频谱，如果由所述偏振波旋转部取得垂直分量，则计算所述垂直分量的频谱；以及

距离计算处理部，根据由所述谱计算部计算出的频谱，计算所述反射光的频率与所述参考光的频率的差分，并根据所述差分计算直至所述测定对象物为止的距离。

3.根据权利要求1所述的光测距装置，其特征在于，

所述偏振波旋转部取得所述水平分量以及所述垂直分量这双方，

所述距离计算部具备：

谱计算部，计算由所述偏振波旋转部取得的水平分量的频谱，并且计算由所述偏振波旋转部取得的垂直分量的频谱；

谱选择部，选择由所述谱计算部计算出的水平分量的频谱以及垂直分量的频谱之中的任一方的频谱；以及

距离计算处理部，根据由所述谱选择部选择的频谱，计算所述反射光的频率与所述参考光的频率的差分，并根据所述差分计算直至所述测定对象物为止的距离。

4.根据权利要求1所述的光测距装置，其特征在于，

所述偏振波旋转部取得所述水平分量以及所述垂直分量这双方，

所述光测距装置具备相位补偿部，该相位补偿部根据由所述偏振波旋转部取得的水平分量和由所述偏振波旋转部取得的垂直分量来构建复信号，实施将所述复信号的相位所包含的噪声分量的相位进行去除的相位补偿处理，将相位补偿处理后的复信号中的水平分量以及垂直分量之中的一个以上的分量输出到所述距离计算部。

5.根据权利要求1所述的光测距装置，其特征在于，

所述光干涉部具备：

光耦合器，将从所述光输出部输出的参考光分支为两路；

偏振光分束器，将由所述光收发部接收到的反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光；

第一90^°光混合器，从由所述偏振光分束器分离的第一偏振波的反射光和由所述光耦合器分支的一方的参考光，抽取所述第一以及第二分量；以及

第二90^°光混合器，从由所述偏振光分束器分离的第二偏振波的反射光和由所述光耦合器分支的另一方的参考光，抽取所述第三以及第四分量。