[发明专利]有机EL显示装置及其制造方法

说明书

有机EL显示装置(100)具有基板(1)、具有由基板支承的多个有机EL元件(3)的元件基板(20)以及覆盖多个有机EL元件的薄膜密封结构(10)，薄膜密封结构具有第一无机势垒层(12)、形成于第一无机势垒层上的有机势垒层(14)以及形成于有机势垒层上的第二无机势垒层(16)，第一无机势垒层的与有机势垒层接触的表面(12S)具有多个细微的凸部，表面的粗糙度的最大高度Rz为20nm以上且小于100nm。

技术领域

发明涉及一种有机EL显示装置及其制造方法。

背景技术

有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示装置已开始实用化。有机EL显示装置的特征之一为，可以获得柔性显示装置。有机EL显示装置中，针对每个像素具有：至少一个有机EL元件(Organic Light Emitting Diode:OLED，有机发光二极管)和控制向每个OLED供给的电流的至少一个TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。如上所述针对每个OLED，具有TFT等开关元件的OLED显示装置被称为有源矩阵型OLED显示装置。另外，形成TFT和OLED的基板被称为元件基板。

OLED(特别是有机发光层和阴极电极材料)受到水分的影响容易劣化，且容易产生显示不均。作为保护OLED免受水分并且提供不损害柔软性的密封结构的技术，开发了薄膜密封(Thin Film Encapsulation，TFE)技术。薄膜密封技术是通过交替地层叠无机势垒层和有机势垒层来获得足够的水蒸气势垒性的薄膜。从OLED显示装置的耐湿可靠性的观点来看，作为薄膜密封结构的WVTR(Water Vapor Transmission Rate：WVTR，水蒸气透过率)，通常要求为1×10^-4g/m²/day以下。

目前市面上出售的OLED显示装置所使用的TFE结构具有厚度约5μm至约20μm的有机势垒层(高分子势垒层)。这样相对较厚的有机势垒层也起到使元件基板的表面平坦化的作用。相对较厚的有机势垒层例如使用喷墨法形成。

另一方面，最近正在研究具有相对较薄的有机势垒层的TFE结构。相对较薄的有机势垒层仅在下部无机势垒层(第一无机势垒层)的凸部(覆盖凸部的第一无机势垒层)周围离散地具有有机树脂膜(存在有机势垒层的“实心部”)。

例如，专利文献1、2中记载有以下的方法。将加热汽化后的雾状有机材料(例如丙烯酸单体)供给到维持在室温以下的温度的元件基板上，并且有机材料在基板上冷凝而滴状化。滴状化的有机材料因毛细现象或表面张力在基板上移动，并且不均匀地分布在第一无机材料层的凸部的侧面与基板表面之间的边界部。之后，通过使有机材料固化，在边界部形成有机树脂膜。另外，专利文献3中公开了如下方法:在元件基板的平坦部上也形成有机树脂膜后，进行灰化，由此形成具有离散地分布的多个实心部的有机势垒层。为了参考，专利文献1～3的公开内容的全部援引于本说明书中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/196137号

专利文献2：日本特开2016-39120号公报

专利文献3：国际公开第2018/003129号

发明内容

本发明所要解决的技术问题

根据本发明人的研究，若设置TFE结构，则存在有机EL显示装置的光利用效率降低的问题。其原因之一是，从OLED(发光层)出射的光在TFE结构内的界面被反射。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种抑制了TFE结构中的光的反射的OLED显示装置及其制造方法。

用于解决问题的方案