[发明专利]光片显微镜以及试样观察方法有效
申请号: | 201880090339.1 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN111771150B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 泷口优;田中瑠美花;高本尚宜 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02B21/06 | 分类号: | G02B21/06;G01N21/64 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显微镜 以及 试样 观察 方法 | ||
1.一种光片显微镜,其特征在于,包括:
将包含可激发试样的波长的激发光照射于所述试样的照射光学系统;
对伴随所述激发光的照射而从所述试样发出的检测光进行引导的检测光学系统;和
检测由所述检测光学系统引导来的所述检测光的光检测器,
所述照射光学系统具有:
作为所述激发光输出波长随时间变化的光的波长扫描光源;
分光元件,其入射从所述波长扫描光源输出的所述激发光,并且以与所述激发光的波长对应的出射角出射所述激发光;
包含柱面透镜及透镜的中继光学系统,其中,从所述分光元件出射的所述激发光以与所述出射角对应的入射角入射于所述柱面透镜;和
第一物镜,其使由所述中继光学系统引导来的所述激发光会聚,并使片状的所述激发光照射于所述试样,
所述柱面透镜和所述透镜构成光瞳传递光学系统,入射于所述柱面透镜的激发光经由所述透镜而传递于所述第一物镜的光瞳,
所述分光元件具有所述激发光出射的出射面,
通过所述中继光学系统,所述第一物镜的光瞳与所述分光元件的所述出射面成为共轭关系。
2.根据权利要求1所述的光片显微镜,其特征在于:
所述分光元件是衍射光栅。
3.根据权利要求1所述的光片显微镜,其特征在于:
所述分光元件是棱镜。
4.根据权利要求1所述的光片显微镜,其特征在于:
所述检测光学系统具有:入射所述检测光的第二物镜;以及使所述第二物镜的焦点位置与从所述波长扫描光源输出的所述激发光的波长的变化同步地变化的焦点位置调节器。
5.根据权利要求2所述的光片显微镜,其特征在于:
所述检测光学系统具有:入射所述检测光的第二物镜;以及使所述第二物镜的焦点位置与从所述波长扫描光源输出的所述激发光的波长的变化同步地变化的焦点位置调节器。
6.根据权利要求3所述的光片显微镜,其特征在于:
所述检测光学系统具有:入射所述检测光的第二物镜;以及使所述第二物镜的焦点位置与从所述波长扫描光源输出的所述激发光的波长的变化同步地变化的焦点位置调节器。
7.根据权利要求4所述的光片显微镜,其特征在于:
所述焦点位置调节器是液体透镜。
8.根据权利要求5所述的光片显微镜,其特征在于:
所述焦点位置调节器是液体透镜。
9.根据权利要求6所述的光片显微镜,其特征在于:
所述焦点位置调节器是液体透镜。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的光片显微镜,其特征在于:
所述波长扫描光源构成为能够在多个中心波长之间切换所述激发光的中心波长,
所述分光元件能够根据从所述波长扫描光源输出的所述激发光的中心波长来旋转。
11.根据权利要求1~9中任一项所述的光片显微镜,其特征在于:
所述照射光学系统具有多个所述波长扫描光源,
所述多个波长扫描光源作为所述激发光输出中心波长彼此不同的光,
从所述多个波长扫描光源输出的所述激发光以与其中心波长对应的入射角入射于所述分光元件。
12.根据权利要求1~9中任一项所述的光片显微镜,其特征在于:
还包括移动机构,其维持所述分光元件与所述柱面透镜之间的位置关系,并且使所述波长扫描光源、所述分光元件和所述柱面透镜沿着所述柱面透镜的光轴移动。
13.根据权利要求10所述的光片显微镜,其特征在于:
还包括移动机构,其维持所述分光元件与所述柱面透镜之间的位置关系,并且使所述波长扫描光源、所述分光元件和所述柱面透镜沿着所述柱面透镜的光轴移动。
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