[发明专利]压力计

说明书

压力计(1A、1B)具有：外侧容器(20)，其划分出被设定成基准压力(Pr)的外侧室(21)；内侧容器(30)，其配置于外侧容器(20)内；以及管(10)，其将内侧容器(30)的第1内侧室(31)内设定成测定压力(Px)。内侧容器(30)具有：筒状的刚体壁部(33)；第1、第2受压板(34A、34B)，它们根据基准压力与测定压力的压差而进行位移；波纹管(38)，其将内侧容器(30)划分成第1内侧室和第2内侧室(32)；以及压力检测元件(39)，其配置于第2内侧室，根据第1、第2受压板的位移而对测定压力进行检测。外侧室和第2内侧室设定成比测定压力的下限低的高真空的所述基准压力。

技术领域

本发明涉及压力计，其能够测定从大气到真空的范围的压力。

背景技术

本发明人提出了一种压力计，其能够抑制外部温度变化的影响而准确地测定真空度(专利文献1公报)。在该公报中公开了如下的内容：除了与被测定气体接触的隔膜的一面侧以外，还将隔膜的另一面侧和压电元件以及对它们进行支承的内部构造体利用基准压力室覆盖。这样，将基准压力室的高真空兼作为真空绝热部，通过真空绝热部抑制对流传热，从而降低由作为压力计的误差的最大的主要原因的温度变化引起的影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2018/127987号

发明内容

发明要解决的课题

通过真空绝热充分降低了由温度变化引起的影响，但产生了灵敏度的提高、小型化、由设置时的姿势引起的误差、或由气体引起的污染等待解决的新课题。

本发明的目的在于提供压力计，能够降低由温度变化引起的影响，并且能够解决灵敏度的提高、小型化、由设置时的姿势引起的误差、或由成膜气体引起的污染等新的课题。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及压力计，其中，该压力计具有：

外侧容器，其划分出被设定成基准压力的外侧室；

内侧容器，其将配置于所述外侧容器内的内侧室划分成与所述外侧室气密地划分的第1内侧室和与所述外侧室连通的第2内侧室；以及

管，其将所述第1内侧室内设定成测定压力，

所述内侧容器具有：

筒状的刚体壁部；

第1受压板、第2受压板，它们形成为所述内侧容器的对置壁部，根据所述基准压力与所述测定压力的压差而进行位移；

波纹管，其配置于由所述筒状的刚体壁部和所述第1受压板、所述第2受压板包围的所述内侧室而划分成所述第1内侧室和所述第2内侧室，该波纹管能够按照允许所述第1受压板、所述第2受压板的位移的方式发生变形；以及

压力检测元件，其配置于所述第2内侧室，根据所述第1受压板、所述第2受压板的位移而对所述测定压力进行检测，

所述外侧室和所述第2内侧室被设定成比所述测定压力的下限低的高真空的所述基准压力。