[发明专利]压力计

权利要求书

1.一种压力计，其特征在于，

该压力计具有：

外侧容器，其划分出被设定成基准压力的外侧室；

内侧容器，其将配置于所述外侧容器内的内侧室划分成与所述外侧室气密地划分的第1内侧室和与所述外侧室连通的第2内侧室；以及

管，其使要测定压力的配管或真空室与所述第1内侧室连通而将所述第1内侧室内设定成测定压力；

所述内侧容器具有：

筒状的刚体壁部；

第1受压板、第2受压板，它们形成为所述内侧容器的对置壁部，根据所述基准压力与所述测定压力的压差而进行位移；

波纹管，其配置于由所述筒状的刚体壁部和所述第1受压板、所述第2受压板包围的所述内侧室而划分成所述第1内侧室和所述第2内侧室，该波纹管能够按照允许所述第1受压板、所述第2受压板的位移的方式发生变形；以及

压力检测元件，其配置于所述第2内侧室，根据所述第1受压板、所述第2受压板的位移而对所述测定压力进行检测，

所述外侧室和所述第2内侧室被设定成比所述测定压力的下限低的高真空的所述基准压力。

2.根据权利要求1所述的压力计，其特征在于，

该压力计还具有：

第1刚体部，其将所述第1受压板与所述波纹管连结；以及

第2刚体部，其将所述第2受压板与所述波纹管连结，

所述压力检测元件的一端固定于所述第1刚体部，所述压力检测元件的另一端固定于所述第2刚体部，

所述第1刚体部、所述第2刚体部分别具有使所述第2内侧室与所述外侧室连通的开口。

3.根据权利要求2所述的压力计，其特征在于，

所述压力检测元件的所述一端固定于所述第1刚体部的所述开口，所述压力检测元件的所述另一端固定于所述第2刚体部的所述开口。

4.根据权利要求1所述的压力计，其特征在于，

所述压力检测元件为压电元件。

5.根据权利要求4所述的压力计，其特征在于，

所述压电元件在所述测定压力为下限时被作用拉伸力。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的压力计，其特征在于，

该压力计还具有使所述第1受压板、所述第2受压板与所述刚体壁部气密地连结的能够弹性变形的第1连结部件、第2连结部件。

7.根据权利要求6所述的压力计，其特征在于，

所述第1连结部件、所述第2连结部件各自的弹性系数比所述波纹管的弹性系数大。

8.根据权利要求7所述的压力计，其特征在于，

所述第1连结部件、所述第2连结部件分别为剖面U字状的环状部件。

9.根据权利要求1至5中的任意一项所述的压力计，其特征在于，

所述基准压力为所述测定压力的下限的1/1000以下。

10.根据权利要求1至5中的任意一项所述的压力计，其特征在于，

在配置于所述外侧容器内的所述管和所述内侧容器中的一方具有加热器。