[发明专利]测量装置在审

专利信息
申请号: 201880086495.0 申请日: 2018-07-30
公开(公告)号: CN111727364A 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 增田雄治;米田将史;中园纯平 申请(专利权)人: 京瓷株式会社
主分类号: G01N15/06 分类号: G01N15/06;G01N15/14
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李逸雪
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种测量装置,能够测量流体中的特定的粒子,其中,

具备:

流路器件,具有包含透光性的所述粒子的第1流体所经过的第1流路、以及不包含所述粒子的第2流体所经过的第2流路;

光学传感器,与所述流路器件对置,对所述第1流路以及所述第2流路的每一个照射光,并接收分别经过了所述第1流路以及所述第2流路的光;以及

控制部,将通过所述光学传感器而得的经过了所述第1流路的光的强度以及经过了所述第2流路的光的强度进行比较,由此来测量所述粒子。

2.根据权利要求1所述的测量装置,其中,

所述光学传感器在每次测定时,对所述第1流路以及所述第2流路的每一个照射光,并接收分别经过了所述第1流路以及所述第2流路的光,

所述控制部在每次测定时,将经过了所述第1流路的光的强度以及经过了所述第2流路的光的强度进行比较。

3.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,

所述流路器件在与所述光学传感器相反一侧的与所述第1流路以及所述第2流路重叠的区域,配置有将所述光学传感器所照射的光向所述光学传感器反射的反射构件。

4.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,

所述流路器件在与所述光学传感器相反一侧的与所述第1流路以及所述第2流路重叠的区域,配置有不反射所述光学传感器所照射的光的非反射构件。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的测量装置,其中,

所述流路器件在从所述光学传感器观察不与所述第1流路以及所述第2流路重叠的区域,配置有不反射所述光学传感器所照射的光的基准用非反射构件。

6.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,

所述测量装置进一步具有:第3流路,其与所述第1流路连接,并且供气体流入。

7.根据权利要求6所述的测量装置,其中,

所述测量装置进一步具备:

第1泵,能够将所述第1流体流入所述第1流路;

第2泵,能够将所述第2流体流入所述第2流路;以及

第3泵,能够将所述气体流入所述第3流路,

所述控制部对所述第1泵、所述第2泵、所述第3泵以及所述光学传感器进行控制。

8.根据权利要求7所述的测量装置,其中,

所述控制部通过所述第1泵使所述第1流体流入所述第1流路,并在使所述第1流体流入所述第1流路后,通过所述第3泵使所述气体流入所述第3流路。

9.根据权利要求8所述的测量装置,其中,

所述控制部通过所述第3泵使所述第3流路内的所述气体的压力变动,来搅拌流入所述第1流路的所述第1流体。

10.根据权利要求9所述的测量装置,其中,

所述控制部一边通过所述第3泵搅拌所述第1流体,一边使所述光学传感器驱动,并根据所述光学传感器的输出来结束搅拌。

11.根据权利要求10所述的测量装置,其中,

所述控制部在所述第1流体的搅拌结束后,通过所述第3泵,使所述气体经由所述第3流路而流入所述第1流路,并将所述第1流体挤出到照射区域。

12.根据权利要求9所述的测量装置,其中,

所述控制部通过所述第3泵来搅拌所述第1流体,并且通过所述第2泵使所述第2流体流入所述第2流路。

13.根据权利要求7所述的测量装置,其中,

所述第2流路与所述第1流路连接,

所述控制部通过所述第2泵使所述第2流体流入所述第2流路,在所述第2流体流入所述第2流路后,通过所述第1泵使所述第1流体流入所述第1流路。

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