[发明专利]应变片

说明书

本应变片包括：基材，具有可挠性；以及电阻体，在所述基材上，由包含铬和镍中的至少一者的材料形成，其中，所述基材的膨胀系数在7ppm/K～20ppm/K的范围内。

技术领域

本发明涉及一种应变片(strain gauge)。

背景技术

已知一种应变片，其粘贴在测定对象物上，以对测定对象物的应变进行检测。应变片具有用于对应变进行检测的电阻体，作为电阻体的材料，例如使用包含Cr(铬)或Ni(镍)的材料。另外，电阻体例如形成在由绝缘树脂构成的基材上(例如参见专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2016-74934号公报

发明内容

本发明要解决的问题

然而，与使用由机械强度较高的陶瓷等构成的基材的情况不同，在使用具有可挠性的基材的情况下，在应变片上产生的翘曲成为问题。如果在应变片上产生翘曲，则有可能会在电阻体上产生裂纹而使应变特性恶化或无法起到应变片的作用。

鉴于上述问题，本发明的目的在于，在包括在具有可挠性的基材上所形成的电阻体的应变片中，减少翘曲。

用于解决问题的手段

本应变片包括：基材，具有可挠性；以及电阻体，在所述基材上，由包含铬和镍中的至少一者的材料形成，其中，所述基材的膨胀系数在7ppm/K～20ppm/K的范围内。

发明的效果

根据所公开的技术，能够在包括在具有可挠性的基材上所形成的电阻体的应变片中，减少翘曲。

附图说明

图1是示出根据第1实施方式的应变片的平面图。

图2是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其1)。

图3是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其2)。

图4是示出基材的膨胀系数与电阻体的内部应力之间的关系的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在各附图中，对相同部件赋予相同符号，并且有时会省略重复的说明。

第1实施方式

图1是示出根据第1实施方式的应变片的平面图。图2是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图，示出了沿图1的线A-A的剖面。如图1及图2所示，应变片1具有基材10、电阻体30、以及端子部41。

需要说明的是，在本实施方式中，为方便起见，在应变片1中，基材10的设置有电阻体30的一侧为上侧或一侧，未设置电阻体30的一侧为下侧或另一侧。另外，各部位的设置有电阻体30的一侧的表面为一个表面或上表面，未设置电阻体30的一侧的表面为另一表面或下表面。但是，也可以以上下颠倒的状态来使用应变片1，或者可以以任意角度来布置应变片1。另外，平面图是指从基材10的上表面10a的法线方向对对象物进行观察的视图，平面形状是指从基材10的上表面10a的法线方向对对象物进行观察时的形状。

基材10是作为用于形成电阻体30等的基底层的部件，并且具有可挠性。对于基材10的厚度并无特别限制，可以根据目的适当地选择，例如可以为大约5μm～500μm。特别地，从来自经由粘合层等接合在基材10的下表面上的应变体表面的应变的传递性、对于环境的尺寸稳定性的观点来看，基材10的厚度优选为5μm～200μm，从绝缘性的观点来看，更优选为10μm以上。