[发明专利]三元过渡金属二硼化物涂覆膜有效

专利信息
申请号: 201880073306.6 申请日: 2018-10-08
公开(公告)号: CN111344432B 公开(公告)日: 2022-12-20
发明(设计)人: 文森特·莫拉厄斯;保罗·海因茨·马尔霍弗;H·博瓦蒂;米利亚姆·阿恩特;皮特·波尔西克 申请(专利权)人: 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;B23B27/00;C23C14/35;C23C28/04
代理公司: 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 代理人: 何志欣
地址: 瑞士普费*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 三元 过渡 金属 二硼化物涂覆膜
【权利要求书】:

1.一种涂覆基体,包括涂有涂层的基体表面,该涂层包含三元过渡金属二硼化物涂覆膜,其中,所述三元过渡金属二硼化物涂覆膜包含两种不同的过渡金属,其特征是,两种过渡金属中的第一过渡金属是钨,两种过渡金属中的第二过渡金属是钽,所述三元过渡金属二硼化物涂覆膜的化学成分由化学式W1-xTaxB2-z表述,其中,0.05≤x≤0.26,并且-0.03≤z≤0.03,其中x和z对应于摩尔分数;

所述三元过渡金属二硼化物的硬度在800℃至1400℃之间的温度在真空气氛中退火1小时期间里经历时效硬化作用。

2.根据权利要求1所述的涂覆基体,其特征是,所述三元过渡金属二硼化物涂覆膜为单相α结构。

3.根据权利要求2所述的涂覆基体,其特征是,该涂覆基体是成形工具或切削刀具或部件。

4.根据权利要求2所述的涂覆基体,其特征是,该涂覆基体是成形工具或切削刀具或部件的一部分。

5.根据权利要求2所述的涂覆基体,其特征是,所述三元过渡金属二硼化物涂覆膜的硬度保持高于30GPa,这是在800℃至1400℃之间的温度在真空气氛中退火1小时之后通过纳米压痕测定的。

6.根据权利要求5所述的涂覆基体,其特征是,所述三元过渡金属二硼化物涂覆膜的硬度保持高于40GPa,这是在800℃至1400℃之间的温度在真空气氛中退火1小时之后通过纳米压痕测定的。

7.一种用于制造根据权利要求1至6之一所述的涂覆基体的方法,其特征是,

为了制备三元W1-xTaxB2-z涂覆膜,分别含有二硼化钨WB2和二硼化钽TaB2的多个靶在含氩气的气氛中在包含至少一个待涂覆基体的真空室内被溅射以便在基体表面上沉积所述三元过渡金属二硼化物涂覆膜。

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