[发明专利]聚酰亚胺糊料的干燥方法及高光电转化效率太阳能电池的制造方法

说明书

本发明提供一种聚酰亚胺糊料的干燥方法，其为对含有有机溶剂与溶解在该有机溶剂中的聚酰亚胺树脂，并通过干燥及加热进行固化而形成固化聚酰亚胺的聚酰亚胺糊料进行干燥的方法，所述干燥方法的特征在于，其包含以下工序：在基材的表面涂布所述聚酰亚胺糊料的工序；至少对所述基材的涂布了所述聚酰亚胺糊料的部位的表面涂布含有极性物质的溶剂的工序；及在涂布含有所述极性物质的溶剂后，对所述聚酰亚胺糊料及所述含有极性物质的溶剂进行干燥的工序。由此，提供一种能够在维持生产性的同时维持印刷形状的聚酰亚胺糊料的干燥方法。

技术领域

本发明涉及一种聚酰亚胺糊料的干燥方法及太阳能电池的制造方法。

背景技术

作为使用了单晶或多晶半导体基板的具有较高的光电转化效率的太阳能电池结构的一种，有一种正负电极均设在非受光面(背面)的背面电极型太阳能电池。该背面电极型太阳能电池的背面的概观如图2所示。在太阳能电池100的背面(太阳能电池用半导体基板110的背面)上，交替排列有发射极层112及基极层113，并沿各自的层上设置电极124、125(发射极电极124、基极电极125)。进一步，设置有用于对由这些电极得到的电流进行集电的母线(bus bar)电极134、135(发射极电极用母线134、基极电极用母线135)。在功能上，母线电极多与集电电极正交。发射极层112的宽度多为数mm～数百μm，基极层113的宽度多为数百μm～数十μm。此外，电极宽度通常为数百～数十μm左右，该电极多被称为指状电极(finger electrode)。

太阳能电池100的截面结构的示意图如图3所示。在基板110的背面的最表层附近形成有发射极层112及基极层113。发射极层112及基极层113的各层厚度通常最多为1μm左右。在各层上设有指状电极124、125(发射极电极124、基极电极125)，非电极区域的表面被氮化硅膜或氧化硅膜等介电膜(背面保护膜)142覆盖。以降低反射损失为目的，在受光面侧设有防反射膜141。

为了改善因细栅线(finger)电阻造成的内部电阻损耗，例如专利文献1中公知一种设有多个母线的结构。该太阳能电池的背面的结构为后文详细说明的在图5中的(c)中示意性示出的结构。其经由绝缘膜连接相对的细栅线与母线。作为该结构的制造方法，有在形成细栅线后，将聚酰亚胺糊料等绝缘糊料印刷成图案状并使其干燥、固化，并用低温固化型导电糊料在其之上形成母线的方法，详细内容如后文所述。

除此之外，太阳能电池中的聚酰亚胺糊料的应用在专利文献3～5等中也是公知的，但均需要再现性良好地形成微细的图案。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第WO2015/190024号

专利文献2：日本特开昭第62-234575号公报

专利文献3：日本特开第2012-69592号公报

专利文献4：日本特表第2010-528487号公报

专利文献5：日本特开第2013-153212号公报

发明内容

本发明要解决的技术问题

聚酰亚胺糊料在进行印刷等涂布后，需要以50～300℃左右的温度进行干燥，但当暴露在高温下时，其表现出流动性，存在印刷物扩展而变得大于所需形状(坍塌)的问题。由于坍塌量并不是一定的，因为并非通过预先缩小图案就能得以解决。

专利文献2中公知一种方法，该方法为了抑制流动性，以低温进行一定时间处理而以一定程度使溶剂挥发后，以高温进行处理。印刷物的坍塌问题虽然通过该方法得到了解决，但同时产生了处理时间变长、处理装置大型化这类生产性的变差。