[发明专利]表面处理装置

说明书

表面处理装置(1)具有：处理槽(3‑1)，其容纳处理液；至少一个阳极(20)，其配置于处理槽内；至少一个阴极轨道(40‑1)；间歇输送装置(70、72)，其以处理槽内的多个停止位置为起始点和/或终点来间歇地输送多个夹具(30)，所述多个夹具(30)分别以使浸渍在处理液中的多个工件(2)下垂的方式来保持所述多个工件(2)，并且与至少一个阴极轨道接触而将多个工件设定为阴极；多个喷管(60)，在处理槽内，在俯视观察时，分别停止在多个停止位置的工件与至少一个阳极之间配置有至少一个所述喷管(60)，所述多个喷管(60)向多个工件喷出处理液；以及移动机构，其使多个喷管分别沿着与多个工件中的每一个平行的水平方向移动。

技术领域

本发明涉及间歇地输送工件的表面处理装置等。

背景技术

在专利文献1中公开了一种电镀装置，该电镀装置将工件间歇地输送到容纳有电镀液的电镀槽内，并在各停止位置向阳极与工件(阴极)之间供给电流，来对工件进行电镀。在该装置中，使用循环式间歇输送装置(链轮以及链条)来间歇地输送工件，其中，所述循环式间歇输送装置将工件间歇地输送到电镀槽和配置于该电镀槽的上游和/或下游的其他前处理槽和/或后处理槽中。

尤其是在该电镀装置中，对在电镀槽内的各停止处理位置处供给到工件的电流量进行累计，若该累计值达到工件的所需电流量，则通过控制装置驱动升降装置，使支承并输送工件的吊钩向电镀槽的上方移动，解除对工件的通电。由此，能够单独地调整例如对多品种且少量的工件所供给的电流量，并按照每个工件单独地调整电镀膜厚度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第2727250号公报

发明内容

发明要解决的课题

作为电解电镀装置，已知有将朝向工件喷出电镀液的喷管固定配置于电镀槽内的电解电镀装置。在专利文献1的电镀装置中，没有使用喷管，没有认识到将喷管配置于间歇输送的电镀槽内时的课题。

而且，由于专利文献1的电镀装置使用了将工件间歇地输送到电镀槽以及其他处理层的循环式间歇输送装置(链轮以及链条)、和使各个工件的夹具(吊钩)单独地升降的升降机构，因此装置的规模变大。并且，无论是间歇输送，还是连续输送，产量都受电镀槽的全长的影响，因此需要准备电镀槽的全长不同的各种规格的电镀装置。此时，必须重新设计包括循环式间歇输送装置在内的装置整体。

本发明的至少一个方式的目的在于提供一种间歇输送式的表面处理装置，该表面处理装置即使并用了喷管，也能够确保被处理的工件的面内均匀性，其中，所述喷管朝向间歇停止在处理槽内被处理的工件喷出处理液。

本发明的其他至少一个方式的目的在于提供一种间歇输送式的表面处理装置，该表面处理装置使具有共同的结构的处理槽单元连结在一起，能够在处理槽的全长范围内对工件进行电流控制和间歇输送。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及一种表面处理装置，其具有：

处理槽，其容纳处理液；

至少一个阳极，其配置于所述处理槽内；

至少一个阴极轨道；

间歇输送装置，其以所述处理槽内的多个停止位置为起始点和/或终点来间歇地输送多个夹具，所述多个夹具以分别使浸渍在所述处理液中的多个工件下垂的方式保持所述多个工件，并且所述多个夹具与所述至少一个阴极轨道接触而将所述多个工件设定为阴极；

多个喷管，在所述处理槽内，在俯视观察时，停止在所述多个停止位置中的各个停止位置处的工件与所述至少一个阳极之间配置有至少一个所述喷管，所述多个喷管向所述工件喷出所述处理液；以及