[发明专利]表面处理装置

权利要求书

1.一种表面处理装置，其特征在于，

所述表面处理装置具有：

处理槽，其容纳处理液；

至少一个阳极，其配置于所述处理槽内；

至少一个阴极轨道；

间歇输送装置，其以所述处理槽内的多个停止位置为起始点和/或终点来间歇地输送多个夹具，所述多个夹具以分别使浸渍在所述处理液中的多个工件下垂的方式保持所述多个工件，并且所述多个夹具与所述至少一个阴极轨道接触而将所述多个工件设定为阴极；

多个喷管，在所述处理槽内，在俯视观察时，停止在所述多个停止位置中的各个停止位置处的工件与所述至少一个阳极之间配置有至少一个所述喷管，所述多个喷管向所述多个工件喷出所述处理液；以及

移动机构，其使所述多个喷管分别相对于间歇停止的对应的工件进行扫描移动。

2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

所述移动机构使所述多个喷管以如下方式移动：所述多个喷管在与停止在所述多个停止位置处的所述多个工件各自的至少水平宽度相对应的长度范围内，至少循环扫描一次。

3.根据权利要求1或2所述的表面处理装置，其特征在于，

所述多个喷管包含至少2个喷管，所述至少2个喷管配置在分别与停止在所述多个停止位置处的所述多个工件对置的各个位置，

所述至少2个喷管在垂直方向上的分别不同的位置处包含所述处理液的多个喷出口。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的表面处理装置，其特征在于，

所述处理槽包含相互连结的多个分割处理槽，相邻的2个分割处理槽经由供所述多个工件通过的开口而连通，

针对所述多个分割处理槽中的每个分割处理槽分别配置有所述一个阳极、所述至少一个阴极轨道、所述至少一个喷管、所述间歇输送装置以及所述移动机构，

分别设置于所述多个分割处理槽的所述至少一个阳极和所述至少一个阴极轨道与至少一个整流器连接。

5.一种表面处理装置，其中，多个处理单元连结在一起，所述表面处理装置的特征在于，

所述多个处理单元分别具有：

分割处理槽，其容纳处理液；

至少一个阳极，其配置于所述分割处理槽内；

至少一个阴极轨道；

间歇输送装置，其以所述分割处理槽内的多个停止位置为起始点和/或终点来间歇地输送多个夹具，所述多个夹具分别保持浸渍在所述处理液中的多个工件，并且所述多个夹具与所述至少一个阴极轨道接触而将所述多个工件设定为阴极；以及

至少一个整流器，其与所述至少一个阳极和所述至少一个阴极轨道连接，

相邻的2个分割处理槽经由供所述多个工件通过的开口而连通。

6.根据权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，

所述间歇输送装置包含被进退驱动的推进器，所述推进器具有多个推动片，

当所述推进器前进时，所述多个推动片推动所述多个夹具的多个被推动片而使所述多个工件前进，当所述推进器后退时，所述多个推动片与所述多个被推动片的卡合被解除而恢复到初始位置。

7.根据权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，

所述间歇输送装置包含被进退驱动和升降驱动的推进器，所述推进器具有多个推动片，

所述多个推动片包含凹部，设置于所述多个夹具的多个被推动片借助所述推进器的升降动作中的一方而配置于所述凹部，所述多个被推动片借助所述推进器的升降动作中的另一方而从所述凹部脱离，

当所述推进器前进时，所述多个推动片推动所述多个被推动片而使所述多个工件前进，并且，当所述推进器停止前进时，所述推进器使所述多个工件停止，在所述多个被推动片从所述凹部脱离的后退时恢复到初始位置。