[发明专利]有机电子器件的制造方法在审
申请号: | 201880067661.2 | 申请日: | 2018-10-11 |
公开(公告)号: | CN111226504A | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 合田匡志 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;H01L51/48;H01L51/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 电子器件 制造 方法 | ||
本发明的一个实施方式的有机电子器件的制造方法是具有层叠体的有机电子器件的制造方法,上述层叠体是具有第1电极层、一个或多个功能层和第2电极层的层叠体,在上述第1电极层上依次形成有上述一个或多个功能层及上述第2电极层,该制造方法具备:第1层形成工序,形成层叠体中包含的多个层当中的第1层(24);以及第2层形成工序,使用包含第2层的材料和沸点为160℃以上的溶剂的涂布液在第1层上形成与第1层接触的第2层,第1层形成工序中,以比期望的厚度薄的厚度(t)形成第1层,以使得通过与第2层的形成相伴随的第1层的厚度增加而使第1层达到期望的厚度(T)。
技术领域
本发明涉及一种有机电子器件的制造方法。
背景技术
作为本技术领域的技术,有专利文献1中记载的技术。专利文献1中公开过作为有机电子器件的一例的有机EL器件的制造方法。具体而言,在专利文献1中公开过制造如下的有机EL器件的方法,即,相邻的2个作为功能层的空穴注入层及发光层由阳极及阴极夹持。专利文献1中记载的技术中,在有机EL器件的制造中,在形成空穴注入层后利用喷墨印刷法在空穴注入层上形成发光层。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2000-323276号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在制造有机电子器件时,以使有机电子器件能够实现期望的性能的方式设计各层的厚度,以设计值的厚度形成各层。然而,在有机电子器件中,若使用包含沸点为160℃以上的溶剂的涂布液形成被层叠的2层当中的后形成的层,则无法实现期望的性能。
因而,本发明的目的在于,提供能够实现期望的性能的有机电子器件的制造方法。
用于解决问题的方法
本申请发明人等为了解决上述问题进行了深入研究。其结果是,本申请发明人等发现,若使用包含沸点为160℃以上的溶剂的涂布液形成被层叠的2层当中的后形成的层(以下称作“第2层”),则溶剂向先形成的层(以下称作“第1层”)渗透,第1层的厚度偏离设计值,从而完成了本申请发明。
本发明的一个方面的有机电子器件的制造方法是具备层叠体的有机电子器件的制造方法,上述层叠体具有第1电极层、一个或多个功能层和第2电极层,且在上述第1电极层上依次形成有上述一个或多个功能层及上述第2电极层,该制造方法具备:第1层形成工序,形成上述层叠体中包含的多个层当中的第1层;以及第2层形成工序,使用包含上述第2层的材料和沸点为160℃以上的溶剂的涂布液在上述第1层上形成与上述第1层接触的第2层,上述第1层形成工序中,以比期望的厚度薄的厚度形成上述第1层,以使得通过与上述第2层的形成相伴随的上述第1层的厚度增加而使上述第1层达到上述期望的厚度。
包含沸点为160℃以上的溶剂的涂布液有干燥时间变长的趋势。其结果是,溶剂滞留于第1层上的时间也变长,容易产生第1层的厚度变化。但是,上述制造方法所具有的第1层形成工序中,以比上述期望的厚度薄的厚度形成上述第1层,以使得通过与上述第2层的形成相伴随的上述第1层的厚度增加而使上述第1层达到期望的厚度。由此,即使实施使用包含沸点为160℃以上的溶剂的上述涂布液形成第2层的第2层形成工序,所制造出的有机电子器件的第1层也能够具有期望的厚度。因而,上述制造方法可以制造能够实现期望的性能的有机电子器件。
上述一个或多个功能层当中的至少一个功能层可以为上述第1层。上述功能层的厚度的变化容易对有机电子器件的性能造成影响。因此,在上述一个或多个功能层当中的至少一个功能层为上述第1层的情况下,具备上述第1层形成工序及第2层形成工序的有机电子器件的制造方法是有效的。
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