[发明专利]显微光谱仪模块和用于借助于显微光谱仪模块来记录光谱的方法

权利要求书

1.一种显微光谱仪模块（100），其具有如下特征：

光学谐振器（102），用于对光进行滤波，其中所述光学谐振器（102）关于至少一个所要滤出的波长范围方面可调；

探测装置（104），用于探测被所述光学谐振器（102）透射的光，其中所述探测装置（104）具有至少一个第一探测元件（108）和至少一个第二探测元件（110）；

聚焦元件（106），所述聚焦元件成型用来使透射光的在第一入射角范围之内射入的光束（400）偏转到所述第一探测元件（108）上并且使透射光的在第二入射角范围之内射入的光束（600）偏转到所述第二探测元件（110）上；

操控单元（1110），用于输出操控所述光学谐振器（102）的操控信号（1112），其中借助于所述操控信号（1112）将所述光学谐振器（102）调整到分配给待检查光谱的中央波长；和

读取单元（1120），其被构造为从所述操控单元（1110）接收所述操控信号（1112）并且使用所述操控信号（1112）读取所述探测装置（104），其中所述读取单元（1120）经由至所述探测装置（104）的接口接收至少一个强度值（1122），所述强度值表示由所述第一探测元件（108）探测的在第一入射角范围之内射入的光束的强度和由所述第二探测元件（110）探测的在第二入射角范围之内射入的光束的强度，其中对于信噪比不好而分辨率高的光谱，单独地读取所述探测装置（104）的探测元件（108、110）并且将所述探测元件分配给其相应的波长，以及对于信噪比良好而分辨率差的光谱，将所述探测元件（108、110）的强度集成为总强度。

2.根据权利要求1所述的显微光谱仪模块（100），其中所述聚焦元件（106）被实现为透镜、消色差透镜、衍射光学元件或者反射器。

3.根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块（100），其中所述聚焦元件（106）布置在所述光学谐振器（102）与所述探测装置（104）之间。

4.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），其中所述光学谐振器（102）被实现为法布里-珀罗干涉仪。

5.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），其中所述探测装置（104）具有至少一个第三探测元件（112），其中所述聚焦元件（106）成型用来使透射光的至少一个在第三入射角范围之内射入的光束（800）偏转到所述至少一个第三探测元件（112）上。

6.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），所述显微光谱仪模块具有至少一个前置于所述探测装置（104）的预滤器，用于对光进行预滤波。

7.根据权利要求1至3之一所述的显微光谱仪模块（100），所述显微光谱仪模块具有至少一个光源，用于照射要借助于所述显微光谱仪模块（100）来分析的对象。

8.一种用于借助于根据上述权利要求之一所述的显微光谱仪模块（100）来记录光谱的方法（1200），其中所述方法（1200）包括如下步骤：

对所述光学谐振器（102）进行操控（1210），以便将所述光学谐振器（102）调整到被分配给所预期的光谱的中央波长；而且

对所述探测装置（104）进行读取（1220），以便获得至少一个强度值（1122），其中所述强度值（1122）表示由所述第一探测元件（108）来探测的在所述第一入射角范围之内射入的光束（400）的强度和/或由所述第二探测元件（110）来探测的在所述第二入射角范围之内射入的光束（600）的强度，其中对于信噪比不好而分辨率高的光谱，单独地读取探测元件（108、110）并且将所述探测元件分配给其相应的波长，以及对于信噪比良好而分辨率差的光谱，将所述探测元件（108、110）的强度集成为总强度。