[发明专利]光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法

权利要求书

1.一种光源装置，具备：

成为光源的放电灯；

判定用电路；以及

反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，

所述判定用电路具有：

RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及

熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述RC并联电路串联连接，

在所述RC并联电路中流过直流的恒流并测定所述判定用电路的两端电压，且根据所述两端电压的测定值来检测所述放电灯是否为正品。

2.一种光源装置，具备：

成为光源的放电灯；

判定用电路；以及

反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，

所述判定用电路具有：

RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及

熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述RC并联电路并联连接，

在所述RC并联电路中流过直流的恒流并测定所述判定用电路的两端电压，且根据所述两端电压的测定值来检测所述放电灯是否为正品。

3.根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，

所述熔断器为温度熔断器。

4.一种光源装置，具备：

成为光源的放电灯；

判定用电路；以及

反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，

所述判定用电路具有：

RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及

二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述RC并联电路串联连接，

在所述RC并联电路中流过直流的恒流并测定所述判定用电路的两端电压，且根据所述两端电压的测定值来检测所述放电灯是否为正品。

5.一种光源装置，具备：

成为光源的放电灯；

判定用电路；以及

反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，

所述判定用电路具有：

RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及

二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述RC并联电路并联连接，

在所述RC并联电路中流过直流的恒流并测定所述判定用电路的两端电压，且根据所述两端电压的测定值来检测所述放电灯是否为正品。

6.根据权利要求1至2以及4至5中任一项所述的光源装置，其特征在于，

所述判定用电路容纳在所述反射器容器内。

7.一种曝光装置，具备：

权利要求1所述的光源装置；

框架，将所述光源装置朝向被照射物安装；

恒流电源，向所述判定用电路供给电流；

开关，将来自所述恒流电源的所述电流进行接通或断开；

控制部，使所述开关接通或断开而对所述判定用电路通电给定时间；

测定部，对通电中的所述判定用电路的两端电压至少测定两次；

比较部，对第一次测定时的所述两端电压与第二次测定时的所述两端电压之差、和用于判定放电灯是否为正品的给定的上限值以及下限值的电压范围进行比较；

判定部，接收来自所述比较部的信号，在所述两端电压之差处于给定电压范围内的情况下判定为检查对象放电灯是正品，在所述两端电压之差处于给定电压范围外的情况下判定为检查对象放电灯不是正品；

旧品判定用恒流电源，在判定所述放电灯是否为正品后，向所述判定用电路供给电流；

旧品判定用开关，使来自所述旧品判定用恒流电源的所述电流接通或断开；

旧品判定用控制部，使所述旧品判定用开关接通或断开而对所述判定用电路进行通电；

旧品判定用测定部，测定通电中的所述判定用电路的两端电压；以及

旧品判定部，根据所测定的两端电压是否处于给定的上限值以及下限值的电压范围内来判定所述放电灯是新品还是旧品。

8.一种光源装置的判定方法，包括如下步骤：

在权利要求1所述的光源装置的所述RC并联电路中流过直流的恒流给定时间，

将通电中的所述判定用电路的两端电压至少测定两次，

对第一次测定时的所述两端电压与第二次测定时的所述两端电压之差、和用于判定放电灯是否为正品的给定的上限值以及下限值的电压范围进行比较，

在所述两端电压之差处于给定电压范围内的情况下判定为作为判定对象的所述放电灯是正品，在所述两端电压之差处于给定电压范围外的情况下判定为作为判定对象的所述放电灯不是正品，

进而，在判定所述放电灯是否为正品后，

对所述判定用电路进行通电，

测定通电中的所述判定用电路的两端电压，

在所测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围内的情况下判定为作为判定对象的所述放电灯是新品，在所测定的两端电压处于给定的上限值以及下限值的电压范围外的情况下判定为作为判定对象的所述放电灯是旧品。