[发明专利]微机械传感器设备及相应的制造方法

权利要求书

1.一种微机械传感器设备，所述微机械传感器设备具有：

传感器衬底(2；2'；2”)，所述传感器衬底具有正侧(VS；VS'；VS”)和背侧(RS；RS'；RS”)；

传感器区域(1)，所述传感器区域设置在所述正侧(VS；VS'；VS”)上并且能够与周围环境介质接触；

封盖装置(4；6)，所述封盖装置(4；6)施加在所述正侧(VS；VS'；VS”)上，用于对所述传感器区域(1)进行封盖；

其中，在所述封盖装置(4；6；4”)中和/或在所述传感器衬底(2；2'；2”)中形成有一个或多个毛细管(3；3'；3”)，用于将所述周围环境介质传递到所述传感器区域(1)上；

其中，在所述毛细管(3；3'；3”)的内壁(I；I'；I”；I”')上至少局部地设有疏液层(5；5a，5b)，其中，所述疏液层(5；5a，5b)也设置在所述封盖装置(4；6)的背向所述传感器衬底(2；2'；2”)的外侧(AS)上，其特征在于，所述疏液层(5a，5b)在所述封盖装置(4)的背向所述传感器衬底(2)的外侧(AS)上具有第一层区域并且在所述毛细管(3)的内壁(I)上具有第二层区域，所述第一层区域和所述第二层区域由不同的材料制成，其中，在所述封盖装置(4)中，在所述传感器区域(1)的上方设有空腔(K；K'；K”)，其中，所述疏液层(5；5a，5b)也设置在空腔内壁(IK)上和所述传感器区域(1)上。

2.根据权利要求1所述的微机械传感器设备，其中，所述毛细管(3)在所述传感器区域(1)的上方形成。

3.根据权利要求1或2所述的微机械传感器设备，其中，所述毛细管(3”)横向于所述传感器区域(1)地形成。

4.根据权利要求1所述的微机械传感器设备，其中，所述封盖装置具有封闭的载体衬底，所述封闭的载体衬底具有在所述封盖装置中设置在所述传感器区域(1)上方的第一空腔(K')，其中，所述传感器衬底(2')具有在所述传感器区域(1)下方的第二空腔(KS)，所述周围环境介质能够从所述背侧(RS')通过所述毛细管(3')传递到所述第二空腔中，其中，与所述传感器区域(1)侧向间隔地设有贯通开口(3a)，所述贯通开口将所述第一空腔(K')与所述第二空腔(KS)流体连接。

5.根据权利要求1或2所述的微机械传感器设备，其中，所述内壁(I”')具有表面结构化。

6.根据权利要求1或2所述的微机械传感器设备，其中，所述疏液层(5；5a，5b)是由氟碳化合物制成的疏水层。

7.根据权利要求6所述的微机械传感器设备，其中，所述疏液层(5；5a，5b)是聚四氟乙烯类的层。