[发明专利]层叠膜及层叠膜的制造方法

权利要求书

1.一种层叠膜，其依次层叠有树脂基材、由有机层和无机层交替层叠而成的有机无机多层膜及厚度为20nm以下的含银金属层，

所述有机无机多层膜的最靠所述含银金属层侧的层为无机层，

在该无机层的表面具备Hamaker常数为7.3×10^-20J以上的锚金属扩散控制层，

在该锚金属扩散控制层与所述含银金属层之间，具备包含锚金属的氧化物的锚区域，该锚金属具有与锚金属扩散控制层相比，与含银金属层的表面能之差较小的表面能，

在所述含银金属层的与所述锚金属扩散控制层侧的面相反的面侧具备包含所述锚金属的氧化物的罩体区域。

2.根据权利要求1所述的层叠膜，其中，

所述锚金属扩散控制层包含金属氧化物、金属氮化物、金属氧氮化物或金属碳化物。

3.根据权利要求2所述的层叠膜，其中，

所述锚金属扩散控制层含有Hf氧化物。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的层叠膜，其中，

所述锚区域中，所述锚金属的氧化物的含有比例大于未氧化的锚金属的含有比例。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的层叠膜，其中，

所述锚金属为Ge、Si、Sn、In、Cu、Ga或Zn。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的层叠膜，其中，

所述含银金属层的厚度为10nm以下。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的层叠膜，其中，

所述有机无机多层膜为阻气层。

8.一种层叠膜的制造方法，其制造层叠膜，该层叠膜依次具备树脂基材、由有机层和无机层交替层叠而成的有机无机多层膜、锚金属扩散控制层及厚度为20nm以下的含银金属层，该层叠膜的制造方法包括如下步骤：

准备在所述树脂基材上具备作为所述有机无机多层膜其最表面为无机层的有机无机多层膜的薄膜的步骤；

在所述最表面上成膜Hamaker常数为7.3×10^-20J以上的锚金属扩散控制层的步骤；

在该锚金属扩散控制层上成膜由锚金属构成的锚金属层的步骤，该锚金属层具有与所述锚金属扩散控制层相比，与所述含银金属层的表面能之差较小的表面能；

在所述锚金属层上成膜所述含银金属层的步骤；

将在所述树脂基材上层叠有所述有机无机多层膜、所述锚金属扩散控制层、所述锚金属层及所述含银金属层的层叠体暴露于水蒸气气氛中，以氧分子和水作为反应物种进行所述锚金属的氧化处理的步骤；及

制造如下层叠膜的步骤，该层叠膜在所述锚金属扩散控制层与所述含银金属层之间具备包含所述锚金属的氧化物的锚区域，并且在所述含银金属层的与所述锚金属扩散控制层侧相反的面上具备包含所述锚金属的氧化物的罩体区域。

9.根据权利要求8所述的层叠膜的制造方法，其中，

所述水蒸气气氛下的水蒸气量为100g/m³以上。

10.根据权利要求8或9所述的层叠膜的制造方法，其中，

所述水蒸气气氛的温度为100℃以下。