[发明专利]包覆切削工具及其制造方法和化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种包覆切削工具，在基材的表面具有硬质皮膜，其特征在于，

所述硬质皮膜为相对于包含半金属的金属元素的总量，含有60原子％以上的Al、10原子％以上的Cr，且Al和Cr的合计含有比率为90原子％以上的氮化物，

所述硬质皮膜在X射线衍射中因fcc结构引起的峰强度示出最大强度，

所述硬质皮膜由相对于所述基材的表面在膜厚方向上生长的柱状晶的集合构成，

关于所述硬质皮膜，

TC(hkl)＝{I(hkl)/I_o(hkl)}/[Σ{I(hkl)/I_o(hkl)}/8]，其中，

I(hkl)为实测的氮化铝铬硬质皮膜的(hkl)面的X射线衍射强度，

I_o(hkl)为ICDD文件编号00-025-1495中记载的氮化铝的(hkl)面的标准X射线衍射强度，

∑表示以下八个面即(hkl)＝(111)面、(200)面、(220)面、(311)面、(222)面、(400)面、(331)面和(420)面的I(hkl)/Io(hkl)的和，

所述(hkl)面为(311)面时的X射线衍射强度比TC(311)的值为1.30以上。

2.根据权利要求1所述的包覆切削工具，其特征在于，所述X射线衍射强度比TC(311)为2.00以上。

3.根据权利要求1或2所述的包覆切削工具，其特征在于，所述X射线衍射强度比TC(311)大于X射线衍射强度比TC(hkl)，其中，(hkl)面为(111)面、(200)面、(220)面、(311)面、(222)面、(400)面、(331)面和(420)面。

4.根据权利要求1或2所述的包覆切削工具，其特征在于，所述X射线衍射强度比TC(420)和TC(200)的值小于1.00。

5.根据权利要求1或2所述的包覆切削工具，其特征在于，所述硬质皮膜在将X射线衍射中的fcc结构的总峰强度设为TA，将因(422)面引起的峰强度设为TB时，TB/TA的值为0.050以上。

6.根据权利要求1或2所述的包覆切削工具，其特征在于，所述柱状晶的表面侧的平均宽度为0.1μm以上且2.0μm以下。

7.根据权利要求1或2所述的包覆切削工具，其特征在于，在使用透射型电子显微镜的微观组织中，所述硬质皮膜中分散有晶粒，该晶粒具有Al的含有比率相对较高的单层结构的部分和Al的含有比率相对较低的层压结构的部分。

8.根据权利要求1或2所述的包覆切削工具，其特征在于，在所述基材与所述硬质皮膜之间具有中间皮膜。

9.根据权利要求1或2所述的包覆切削工具，其特征在于，在所述硬质皮膜上具有上层。