[发明专利]结构化膜及其制品在审
| 申请号： | 201880043127.8 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110800123A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 大卫·J·罗韦;凯文·W·戈特里克;克里斯多佛·A·默顿;斯科特·J·琼斯;余大华;布雷特·J·西特尔;比尔·H·道奇 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52 |
| 代理公司： | 11219 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 梁晓广;李金刚 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构化 主表面 树脂层 阻挡层 纳米级特征 微米级特征 | ||
1.一种膜，所述膜包括：
树脂层，所述树脂层包括第一结构化主表面和第二结构化主表面，其中所述第一结构化主表面包括多个微米级特征部，并且所述第二结构化主表面包括多个纳米级特征部；以及
阻挡层，所述阻挡层位于所述树脂层的所述第一结构化主表面或所述第二结构化主表面上。
2.根据权利要求1所述的膜，还包括位于所述树脂层的所述第二结构化主表面上的粘合剂层。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的膜，还包括第二阻挡层，其中所述阻挡层位于所述树脂层的所述第一结构化主表面上，并且所述第二阻挡层位于所述树脂层的所述第二结构化主表面上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的膜，其中所述多个微米级特征部的高度在5μm至50μm之间。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的膜，其中所述多个微米级特征部或纳米级特征部是随机排列的特征部。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的膜，其中所述多个微米级特征部或纳米级特征部是有序排列的特征部。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的膜，其中所述第一结构化主表面还包括多个纳米级特征部。
8.根据权利要求7所述的膜，所述第一结构化主表面包括有序的微米级特征部和随机排列的纳米级特征部。
9.根据权利要求8所述的膜，其中所述第一结构化主表面的所述纳米级特征部形成在所述第一结构化主表面的所述微米级特征部上。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的膜，其中纳米级特征部的高宽比大于1:1。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的膜，其中所述纳米级特征部之间的间距小于100nm。
12.一种制品，所述制品包括：
根据权利要求1至11中任一项所述的膜；以及
氧气或湿气敏感的器件。
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