[发明专利]光学滤光器系统

说明书

本发明的目的在于提供可靠性高的光学滤光器系统。本发明的光学滤光器系统具备法布里‑珀罗干涉滤光器(1)、及控制法布里‑珀罗干涉滤光器的控制器(51)。法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备第1镜部(31)、第2镜部(32)、设置于第1镜部(31)的第1驱动电极(12)及第1监视电极(13)、以及设置于第2镜部(32)的第2驱动电极(14)及第2监视电极(15)。控制器(51)具备控制部(55)，该控制部基于在将交流电流施加至第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间时产生于第1监视电极(13)与第2监视电极(15)之间的交流电压算出第1镜部(31)与第2镜部(32)之间的静电电容。

技术领域

本公开关于一种具备法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉滤光器的光学滤光器系统。

背景技术

以往，已知有一种法布里-珀罗干涉滤光器，其具备以经由空隙而相互相对的方式配置且相互之间的距离通过静电力而调整的一对镜部(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015-004886号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在如上所述的法布里-珀罗干涉滤光器中，一般而言，通过施加电压的控制而调整一对镜部之间的距离。然而，在该情形时，有产生「引入(Pull-in)」现象的担忧。在引入现象中，有由于镜部相互带来引力，镜部彼此机械地稳固接触而使法布里-珀罗干涉滤光器产生不良情况的担忧。相对于此，考虑采用基于蓄积于镜部间的电荷量的控制来避免引入现象，但自可靠性的观点而言要求进一步的改善。

本发明的一方面的目的在于提供一种可靠性较高的光学滤光器系统。

[解决问题的技术手段]

本发明的一方面的光学滤光器系统具备：法布里-珀罗干涉滤光器；及控制器，其控制法布里-珀罗干涉滤光器；法布里-珀罗干涉滤光器具备：第1镜部；第2镜部，其以经由空隙而与第1镜部相对的方式配置，且光透过区域中的与第1镜部之间的距离通过静电力而调整；第1驱动电极，其以在自第1镜部与第2镜部相互相对的方向观察的情形时包围光透过区域的方式设置于第1镜部；第2驱动电极，其以与第1驱动电极相对的方式设置于第2镜部；第1监视电极，其以在自上述方向观察的情形时至少一部分与光透过区域重叠的方式设置于第1镜部，且与第1驱动电极电性绝缘；及第2监视电极，其以与第1监视电极相对的方式设置于第2镜部，且与第2驱动电极电性绝缘；控制器具备：第1电流源，其通过将驱动电流施加至第1驱动电极与第2驱动电极之间而产生静电力；第2电流源，其将具有较第1镜部及第2镜部的共振频率高的频率的交流电流施加至第1监视电极与第2监视电极之间；检测部，其检测于交流电流的施加中产生于第1监视电极与第2监视电极之间的交流电压；及控制部，其基于蓄积于第1镜部与第2镜部之间的电荷量控制第1电流源，并且基于检测部的检测结果算出第1镜部与第2镜部之间的静电电容。

在该光学滤光器系统中，法布里-珀罗干涉滤光器除了具备第1驱动电极及第2驱动电极以外，还具备第1监视电极及第2监视电极。而且，基于将具有较第1镜部及第2镜部的共振频率高的频率的交流电流施加至第1监视电极与第2监视电极之间时产生于第1监视电极与第2监视电极之间的交流电压，算出第1镜部与第2镜部之间的静电电容。由此，可基于该静电电容算出镜部间的距离，可在法布里-珀罗干涉滤光器的动作中监视镜部间的实际的距离。进而，第1监视电极以在自第1镜部与第2镜部相互相对的方向观察的情形时至少一部分与光透过区域重叠的方式设置于第1镜部，且与第1驱动电极电性绝缘，第2监视电极以与第1监视电极相对的方式设置于第2镜部，且与第2驱动电极电性绝缘。由此，可使第1监视电极及第2监视电极独立于第1驱动电极及第2驱动电极。其结果，可更佳地算出镜部间的静电电容，甚至可更佳地监视镜部间的距离。因此，根据该光学滤光器系统，能够提高可靠性。