[发明专利]光学滤光器系统

权利要求书

1.一种光学滤光器系统，其具备：

法布里-珀罗干涉滤光器；及

控制器，其控制所述法布里-珀罗干涉滤光器，

所述法布里-珀罗干涉滤光器具备：

第1镜部；

第2镜部，其以经由空隙而与所述第1镜部相对的方式配置，且光透过区域中的与所述第1镜部之间的距离通过静电力而调整；

第1驱动电极，其以在自所述第1镜部与所述第2镜部相互相对的方向观察的情形时包围所述光透过区域的方式设置于所述第1镜部；

第2驱动电极，其以与所述第1驱动电极相对的方式设置于所述第2镜部；

第1监视电极，其以在自所述方向观察的情形时至少一部分与所述光透过区域重叠的方式设置于所述第1镜部，且与所述第1驱动电极电绝缘；及

第2监视电极，其以与所述第1监视电极相对的方式设置于所述第2镜部，且与所述第2驱动电极电绝缘，

所述控制器具备：

第1电流源，其通过将驱动电流施加至所述第1驱动电极与所述第2驱动电极之间而产生所述静电力；

第2电流源，其将具有较所述第1镜部及所述第2镜部的共振频率高的频率的交流电流施加至所述第1监视电极与所述第2监视电极之间；

检测部，其检测在所述交流电流的施加中产生于所述第1监视电极与所述第2监视电极之间的交流电压；及

控制部，其基于蓄积于所述第1镜部与所述第2镜部之间的电荷量控制所述第1电流源，并且基于所述检测部的检测结果算出所述第1镜部与所述第2镜部之间的静电电容，

施加至所述第1监视电极与所述第2监视电极之间的交流电流的频率设定为较第1镜部及第2镜部的共振频率的10倍更高，

所述法布里-珀罗干涉滤光器具有：基板，其具有第1表面；第1层叠体，其具有配置于所述第1表面的所述第1镜部；第2层叠体，其具有在相对于所述第1镜部与所述基板的相反侧经由空隙而与所述第1镜部相对的所述第2镜部；以及中间层，其在所述第1层叠体与所述第2层叠体之间划定所述空隙，

所述第1驱动电极形成于包含于所述第1层叠体的层，所述第2驱动电极形成于包含于所述第2层叠体的层。

2.如权利要求1所述的光学滤光器系统，其中，

所述第1驱动电极露出于所述空隙。

3.如权利要求1或2所述的光学滤光器系统，其中，

所述第2驱动电极配置于所述第2镜部的与所述空隙为相反侧的表面。

4.如权利要求1或2所述的光学滤光器系统，其中，

所述第2驱动电极露出于所述空隙。

5.如权利要求1至4中任一项所述的光学滤光器系统，其中，

所述第1监视电极露出于所述空隙。

6.如权利要求1至5中任一项所述的光学滤光器系统，其中，

所述第2监视电极露出于所述空隙。

7.如权利要求1至5中任一项所述的光学滤光器系统，其中，

所述第2监视电极配置于所述第2镜部的与所述空隙为相反侧的表面。

8.如权利要求1至5中任一项所述的光学滤光器系统，其中，

所述第2驱动电极与所述第2监视电极在所述方向相互隔开。