[发明专利]射频匹配网络中用于频率调谐辅助双电平脉冲的辅助电路

权利要求书

1.一种射频匹配电路控制系统，其包括：

包括多个可调谐部件的射频匹配电路，其中，所述射频匹配电路被配置为从射频发生器接收输入信号，其中所述输入信号包括至少两种脉冲电平，

根据所述输入信号向负载提供输出信号，以及

使与所述输入信号相关联的阻抗与所述负载的阻抗匹配；以及控制器，其被配置为针对所述输入信号的所述至少两种脉冲电平确定所述负载的相应的阻抗，并且

调节所述多个可调谐部件的操作参数，以针对所述至少两种脉冲电平使所述射频匹配电路的频率调谐范围与所述负载的所述相应的阻抗对准，从而使与所述输入信号相关联的所述阻抗与所述相应的阻抗匹配，其中为了调节所述操作参数，所述控制器被配置成：

响应于以第一脉冲电平提供的所述输入信号，基于针对所述第一脉冲电平确定的第一阻抗，调整所述多个可调谐部件中的第一可调谐部件的第一操作参数，以及

响应于以第二脉冲电平提供的所述输入信号，基于针对所述第二脉冲电平确定的第二阻抗，调整多个可调谐部件中的第二可调谐部件的第二操作参数，

其中所述第一操作参数对应于所述射频匹配电路的第一电容器的第一电容和第二电容器的第二电容中的至少一者，

其中所述第二操作参数对应于第三电容器的第三电容，并且

其中，为了使所述射频匹配电路的所述频率调谐范围与所述第一和第二阻抗两者对准，所述控制器被配置为(i)调整所述第一电容和所述第二电容中的所述至少一者以使所述频率调谐范围在平移方向上移位，以及(ii)调整所述第三电容以使所述频率调谐范围在旋转方向上移位以调整所述频率调谐范围的斜率。

2.根据权利要求1所述的射频匹配电路控制系统，其中，所述第一电容器对应于连接在所述输入信号与地之间的并联电容器。

3.根据权利要求2所述的射频匹配电路控制系统，其中，所述第二电容器对应于连接在所述输入信号与所述负载之间的串联电容器。

4.根据权利要求3所述的射频匹配电路控制系统，其中，所述第三电容器连接在(i)所述第二电容器的与所述负载连接的端部与(ii)地之间。

5.根据权利要求4所述的射频匹配电路控制系统，其中，所述操作参数还包括与电感器的电感值相对应的第三操作参数。

6.根据权利要求5所述的射频匹配电路控制系统，其中，所述电感器与所述第三电容器并联连接。

7.根据权利要求4所述的射频匹配电路控制系统，其中，为了调节所述第一操作参数，所述控制器被配置为(i)确定所述第一电容和所述第二电容的相应值，以针对所述至少两种脉冲电平中的第一脉冲电平减小与所述负载的所述阻抗相关联的反射功率；以及(ii)基于所确定的所述相应值来调节所述第一电容器和所述第二电容器中的至少一者。

8.根据权利要求4所述的射频匹配电路控制系统，其中，为了调节所述第二操作参数，所述控制器被配置为：(i)确定所述第三电容的值，以针对所述至少两种脉冲电平中的第二脉冲电平减小与所述负载的所述阻抗相关联的反射功率；以及(ii)将所述第三电容器调节至所述第三电容的所确定的所述值。

9.一种衬底处理系统，其包括权利要求1所述的RF匹配电路控制系统。

10.根据权利要求9所述的衬底处理系统，其中，所述负载对应于衬底处理室内的电极、感应线圈结构和等离子体中的至少一个。