[发明专利]电连接装置

说明书

本发明的电连接装置包括：布线配置构件(30)；探针(10)，其具有与形成于布线配置构件(30)的布线图案相连接的基端部和用于与被检查体(2)相接触的端头部；探针头(20)，其与布线配置构件(30)相邻地配置，该探针头(20)保持探针(10)；以及固定部件(100)，其以一端部自探针头(20)朝向布线配置构件(30)突出的方式配置于探针头(20)，该固定部件(100)的一端部固定于布线配置构件(30)的与探针头(20)相对的固定面(301)，将探针头(20)和布线配置构件(30)结合起来。

技术领域

本发明涉及一种在被检查体的电特性的测量中使用的电连接装置。

背景技术

为了以基板的状态对集成电路等被检查体的电特性进行测量，使用具有与被检查体接触的探针的电连接装置。在电连接装置中，使用有将保持探针的探针头安装于配置有与探针电连接的布线图案的印刷电路板的结构。此时，为了使配置于印刷电路板的布线图案的间隔大于探针的间隔而使用一种在探针头与印刷电路板之间配置有空间转换器的结构的电连接装置(例如参照专利文献1。)。

为了抑制探针头的挠曲，使用了利用柱状的固定部件将在探针头的上方配置的加强件(增强件)和探针头连结起来的方法。在该方法中，在空间转换器、印刷电路板等配置有布线图案的构件(以下称为“布线配置构件”。)配置于探针头的上方的情况下，在布线配置构件形成供固定部件通过的通孔。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－178405号公报

发明内容

发明要解决的问题

由于在布线配置构件形成通孔，因而在布线配置构件处无法配置布线的区域增大，产生因布线的布局的自由度的减少所导致的布线效率的降低。因此，需要布线配置构件的面积的扩大、布线层的多层化。其结果，产生制造成本增加等问题。

鉴于上述问题，本发明的目的在于，提供一种能够抑制探针头的挠曲且抑制布线配置构件处的布线效率的降低的电连接装置。

用于解决问题的方案

采用本发明的一技术方案，提供一种电连接装置，其中，该电连接装置包括：布线配置构件；探针，其具有与形成于布线配置构件的布线图案相连接的基端部和用于与被检查体相接触的端头部；探针头，其与布线配置构件相邻地配置，该探针头保持探针；以及固定部件，其以一端部自探针头朝向布线配置构件突出的方式配置于探针头，该固定部件的一端部固定于布线配置构件的与探针头相对的固定面，将探针头和布线配置构件结合起来。

发明的效果

采用本发明，能够提供一种能抑制探针头的挠曲且抑制布线配置构件处的布线效率的降低的电连接装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的电连接装置的结构的示意图。

图2是表示本发明的实施方式的电连接装置的固定部件与锚固件结合的结合方法的例子的示意图，图2的(a)表示结合之前的状态，图2的(b)表示结合后的状态。

图3是表示比较例的电连接装置的结构的示意图。

图4是表示在比较例的电连接装置的布线配置构件形成的通孔的配置例的示意性俯视图。

图5是表示比较例的电连接装置的布线配置构件的布线区域的示意性俯视图。

图6是表示本发明的实施方式的电连接装置的布线配置构件的布线区域的示意性俯视图。