[发明专利]洁净室用擦拭布及其制造方法

说明书

用于洁净室环境或其他类似受控环境的预饱和的擦拭布，其包括织造织物，该织造织物结合了独特的编织图案，具有密封的边缘，仅用超纯水(UPW)饱和。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年3月23日提交的序列号为62/475,523的临时专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合于此。

发明领域

本发明一般涉及一种用于洁净室环境或其他类似受控环境中的预饱和的擦拭布，该擦拭布能够有效地从设备和工作表面去除污染物，而无需使用挥发性有机化合物(VOC)，同时表现出低的可释放颗粒水平。预饱和的擦拭布由织造织物制成，该织造织物具有独特的编织图案，其密封边缘仅用超纯水(UPW)饱和。预饱和的擦拭布可容纳足够的UPW，以去除表面上的污染物而不会使表面湿润。关键表面在不使用VOC并且不具有相关健康和安全风险的情况下保持清洁和干燥。

发明背景

目前，使用100％异丙醇(IPA)作为润湿剂的预饱和的擦拭布通常用于清洁洁净室中的关键表面，例如工作站、工作台和工具表面，例如加工室内部。在使用预饱和的擦拭布之前，干擦拭布与含有IPA的喷射瓶配合使用。当前使用IPA预饱和的擦拭布的用户认为，这种擦拭布为污染控制提供了一种更方便，更具成本效益的方法。

使用IPA预饱和的擦拭布的公司报告说，与使用干擦拭布和喷射瓶相比，使用IPA预饱和的擦拭布具有更好的方案遵循性(可能是出于便利性)，较低的总体擦拭布使用量，较低的挥发性有机化合物(VOC)水平，减少的火灾隐患以及擦拭布上润湿水平更高的重现性。尽管如此，IPA预饱和擦拭布仍带有与VOC相关的健康和安全风险，例如易燃性，VOC散逸性排放和人员接触VOC。

另外，用IPA预饱和的擦拭布的另一个缺点是它们表现出显著的可释放颗粒水平，包括可能高于相应的干擦拭布的水平。IPA预饱和的擦拭布的较高颗粒水平与润湿剂与擦拭布的长期接触有关。在IPA预饱和的擦拭布的测试过程中发现的这些较高的颗粒水平可能潜在地表示颗粒暴露水平的增加以及对环境表面和/或过程的风险的提高。

因此，需要一种预饱和的洁净室用擦拭布，该擦拭布可以有效清洁关键表面，同时提供比当前方法(即使用IPA预饱和的擦拭布或干擦拭布与含有IPA的喷射瓶配合使用的方法)更高的工艺效益，降低的成本以及增强的环境健康和安全性。

发明内容

本发明涉及仅用超纯水(UPW)预饱和的具有密封边缘的预饱和的微纤维擦拭布。超纯水(UPW或高纯水)是经过纯化达到非常严格规格的水。超纯水是半导体行业中常用的术语，以强调以下事实：水被处理到对于所有污染物类型达到最高纯度水平，所述污染物类型包括：有机和无机化合物，溶解物和颗粒物，挥发性和非挥发性物质，活性和惰性物质，亲水性和疏水性物质，以及溶解气体。本发明的擦拭布使洁净室技术人员能够实现100％无VOC的擦拭，并且完全消除了洁净室擦拭程序中包括IPA在内的易燃溶剂。本发明的擦拭布由具有独特织造图案的微纤维织物构成，其允许操作者仅使用UPW将污染物清除，夹带和去除，同时保持表面清洁和干燥。擦拭布的编织和密封边缘可抵抗磨损和撕裂，从而减少使用中的颗粒和纤维生成。

本发明的UPW预饱和的擦拭布可用于ISO 3级及更高等级的洁净室中。UPW预饱和的擦拭布特别适用于清洁平板显示器厂和水厂中的高真空加工室和机器人，清洁光刻、化学气相沉积和计量模块中的对挥发性有机化合物(VOC)敏感的工艺设备，以及从光刻轨道上清洁掉被烘烤在其上的抗蚀剂和显影剂。UPW预饱和的擦拭布还可用于敏感组件(如设备前端模块，静电吸盘，VAT阀和气体分散板)的最终擦拭。UPW预饱和的擦拭布在设备的预防性维护以及需要消除VOC和易燃溶剂的湿法清洁中也特别有用。洁净室中的水平表面、不锈钢推车和工作表面也是使用本发明的UPW预饱和的擦拭布的理想场所。