[发明专利]磁传感器有效
申请号: | 201880033982.0 | 申请日: | 2018-05-21 |
公开(公告)号: | CN110709720B | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 林承彬 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02;G01R33/09 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 | ||
1.一种磁传感器,其特征在于,
具备:
传感器基板,其具有:形成有包含第一磁敏元件和第二磁敏元件的多个磁敏元件的元件形成面;位于所述元件形成面的相反侧的背面;以及与所述元件形成面和所述背面大致正交,并且互相位于相反侧的第一侧面和第二侧面;
第一外部磁性体,其在所述元件形成面上,被设置于所述第一磁敏元件与所述第二磁敏元件之间;以及
第二外部磁性体,其具有覆盖所述第一侧面的第一部分和覆盖所述第二侧面的第二部分,
所述第一磁敏元件,在俯视时,位于所述第一外部磁性体和所述第二外部磁性体的所述第一部分之间,
所述第二磁敏元件,在俯视时,位于所述第一外部磁性体和所述第二外部磁性体的所述第二部分之间,
所述第二外部磁性体的所述第一部分和第二部分超过所述元件形成面并突出,
所述第二外部磁性体进一步具有从所述第一部分弯折至所述元件形成面侧的第一突出部分和从所述第二部分弯折至所述元件形成面侧的第二突出部分。
2.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,
所述第一部分和第二部分的从所述元件形成面的突出量是沿所述元件形成面的所述第一外部磁性体与所述第二外部磁性体的所述第一部分和第二部分的距离以下。
3.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,
所述第二外部磁性体的所述第一部分和第二部分具有从所述元件形成面侧朝向所述背面侧而厚度增大的锥形形状。
4.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,
所述第二外部磁性体进一步具有覆盖所述背面的第三部分。
5.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,
所述第二外部磁性体的所述第一部分和所述第二部分是不同的构件,所述传感器基板的所述背面未被所述第二外部磁性体覆盖而露出。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的磁传感器,其特征在于,
所述第一突出部分和第二突出部分具有随着接近于所述第一外部磁性体而宽度变窄的形状。
7.根据权利要求1~5中任一项所述的磁传感器,其特征在于,
所述第一突出部分和第二突出部分具有随着接近于所述第一外部磁性体而厚度变薄的形状。
8.根据权利要求1~5中任一项所述的磁传感器,其特征在于,
进一步具备在俯视时与所述传感器基板的所述元件形成面重叠的第一磁性体层、第二磁性体层和第三磁性体层,
所述第一磁敏元件设置于由所述第一磁性体层和所述第二磁性体层之间的第一间隙形成的磁路上,
所述第二磁敏元件设置于由所述第一磁性体层和所述第三磁性体层之间的第二间隙形成的磁路上,
所述第一外部磁性体设置于所述第一磁性体层上。
9.根据权利要求8所述的磁传感器,其特征在于,
所述第一突出部分覆盖所述第二磁性体层的至少一部分,所述第二突出部分覆盖所述第三磁性体层的至少一部分。
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