[发明专利]磁传感器有效
| 申请号： | 201880027218.2 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110573895B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 城野纯一;关根孝二郎;土田匡章 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡美能达株式会社 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09;G01N27/72;H01L43/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金雪梅;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
1.一种磁传感器，其中，
在与第一磁阻元件以及第二磁阻元件的平面正交的方向上排列有多个磁阻元件单元，在上述磁阻元件单元中，以第一方向为检测轴的平面型的上述第一磁阻元件与以和上述第一方向不同的第二方向为检测轴的平面型的上述第二磁阻元件对置配置，
与测定样品对置的面是与上述磁阻元件单元的排列方向平行的面。
2.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，
在上述第一磁阻元件与上述第二磁阻元件之间设置有绝缘层。
3.根据权利要求1或者2所述的磁传感器，其中，
在上述排列方向上相邻的上述磁阻元件单元彼此相互接触。
4.根据权利要求1或者2所述的磁传感器，其中，
构成上述磁阻元件单元的基板的一部分、和构成相邻的上述磁阻元件单元的基板的一部分在与上述排列方向正交的方向上重合配置。
5.根据权利要求1或者2所述的磁传感器，其中，
在基板的两面分别设置以上述第一方向为检测轴的第一磁性薄膜和以上述第二方向为检测轴的第二磁性薄膜，构成上述第一磁阻元件以及上述第二磁阻元件，
多个上述基板以使上述第一磁性薄膜侧的面与上述第二磁性薄膜侧的面对置的方式排列而构成多个上述磁阻元件单元。
6.根据权利要求1或者2所述的磁传感器，其中，
具备运算部，上述运算部基于多个上述磁阻元件单元的检测结果，导出上述排列方向的磁场强度。
7.根据权利要求1或者2所述的磁传感器，其中，具备：
外部磁阻元件，其检测外部的磁场强度；以及
确定部，其基于上述外部磁阻元件的检测结果，确定基于外部环境的噪声成分。
8.根据权利要求1或者2所述的磁传感器，其中，
具备多个周边磁阻元件，所述多个周边磁阻元件在多个上述磁阻元件单元的周围分散配置。
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