[发明专利]真空泵、磁轴承装置及转子

说明书

提供一种减轻转子的振摆及振动的真空泵、磁轴承装置及转子。一种真空泵（1），沿着气体的排气方向，依次配置有转子（20）的重心（G1）、在径向方向（R）上以磁力非接触支承转子（20）的主动径向轴承（71）及在径向方向（R）上以磁力非接触支承转子（20）的被动径向轴承（72）。

技术领域

本发明涉及真空泵及用于真空泵的磁轴承装置、转子，特别涉及抑制转子的振摆及振动的真空泵、磁轴承装置及转子。

背景技术

作为使用真空泵进行排气处理、将内部保持为真空的装置，已知有半导体制造装置、液晶制造装置、电子显微镜、表面分析装置及微细加工装置等。在这样的装置中使用的真空泵通过旋转叶片相对于固定叶片相对地旋转，将装置内的气体向外部排气，将装置内保持为真空。

在专利文献1中，公开了一种具备将转子的5自由度中的3自由度主动地控制约束、将其余的2自由度被动地约束的磁轴承的真空泵。在这样的真空泵中，具备：变位传感器，对转子上部的径向方向的从平衡点的变位进行计测；主动径向轴承，基于变位传感器的计测值，将转子向平衡点拉回；以及被动径向轴承，在径向方向上支承转子。主动径向磁轴承和被动径向轴承在气体的排气方向上夹着转子的重心配置在相反侧。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭59－83828号公报。

发明内容

发明要解决的课题

在上述那样的真空泵中，有以下的问题：在转子从平衡点在径向方向上变位的情况下，如果主动径向轴承使上部复原力作用于转子的上部，则起因于被动径向轴承对转子的电枢盘（armature disc）作用的磁阻而作用于转子的下侧的下部复原力被与转子的姿势对应的倾斜力抵消，所以轴承的共振点处的转子的振摆和振动难以衰减。

并且，有以下的问题：如果作用于转子的下部的复原力下降，则为了使转子旋转时的平衡改善而必须高精度地制作转子，进而，真空泵组装时的微调整需要长时间。

所以，本发明是鉴于这样的以往的课题而做出的，目的是减轻转子的振摆及振动。

用来解决课题的手段

本发明是为了达成上述目的而提出的，技术方案1所述的发明提供一种真空泵，具备磁轴承装置，所述磁轴承装置具有径向方向磁力发生机构和径向方向变位检测机构，所述径向方向磁力发生机构在径向方向上以磁力非接触支承将气体排气的转子，所述径向方向变位检测机构对所述转子的所述径向方向的变位进行检测，其中，所述径向方向磁力发生机构在所述气体的排气方向上在比所述转子的重心靠排气侧设置有两个。

根据该结构，由于当转子从平衡点在径向方向上变位时，径向方向磁力发生机构作用于转子的下部的复原力和起因于转子的姿势的倾斜力以相同的朝向发生，所以作用于转子的下部的并行力不会被倾斜力衰减而将转子的振摆及振动有效率地减震。

技术方案2所述的发明提供一种真空泵，除了技术方案1所述的真空泵的结构以外，配置在所述气体的所述排气方向的吸气侧的第1径向方向磁力发生机构主动地支承所述转子；配置在所述气体的所述排气方向的排气侧的第2径向方向磁力发生机构被动地支承所述转子。

根据该结构，通过沿着气体的排气方向依次配置转子的重心、第1径向方向磁力发生机构及第2径向方向磁力发生机构，当转子从平衡点在径向方向上变位时，起因于第2径向方向磁力发生机构而作用于转子的下部的复原力和起因于转子的姿势的倾斜力以相同的朝向发生，所以作用于转子的下部的复原力不会被倾斜力衰减而能够将转子的振摆及振动有效率地减震。

技术方案3所述的发明提供一种真空泵，除了技术方案2所述的真空泵的结构以外，所述第1径向方向磁力发生机构的中心及所述径向方向变位检测机构的中心配置在同一平面上。