[发明专利]真空泵、磁轴承装置及转子有效
| 申请号： | 201880024595.0 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110520627B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 川岛敏明 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F16C32/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;谭祐祥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 磁轴 装置 转子 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空泵，具备磁轴承装置，所述磁轴承装置具有径向方向磁力发生机构和径向方向变位检测机构，所述径向方向磁力发生机构在径向方向上以磁力非接触支承将气体排气的转子，所述径向方向变位检测机构对所述转子的所述径向方向的变位进行检测，其特征在于，
所述径向方向磁力发生机构在所述气体的排气方向上在比所述转子的重心靠排气侧设置有两个；
配置在最靠近吸气口的所述径向方向变位检测机构在所述气体的所述排气方向上被设置在比所述转子的所述重心靠排气侧。
2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
配置在所述气体的所述排气方向的吸气侧的第1径向方向磁力发生机构主动地支承所述转子；
配置在所述气体的所述排气方向的排气侧的第2径向方向磁力发生机构被动地支承所述转子。
3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，
所述第1径向方向磁力发生机构的中心及所述径向方向变位检测机构的中心配置在同一平面上。
4.一种磁轴承装置，其特征在于，
被用于权利要求1～3中任一项所述的真空泵。
5.一种转子，其特征在于，
被用于权利要求1～3中任一项所述的真空泵。
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