[发明专利]光组件

说明书

本发明光组件包括支承层(2)、设置在支承层(2)上的器件层(3)、和安装于器件层(3)的可动反射镜(5)。器件层(3)具有：安装有可动反射镜(5)的安装区域(31)、和与安装区域(31)连接的驱动区域(32)。在支承层(2)与器件层(3)之间形成有至少与安装区域(31)和驱动区域(32)对应的空间(S1)。安装区域(31)被驱动区域(32)中包含的一对弹性支承区域(34)夹着，由一对弹性支承区域(34)支承。

技术领域

本发明涉及光组件。

背景技术

已知有通过MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术在SOI(Silicon OnInsulator)基片上形成有干涉光学系统的光组件(例如，参照专利文献1)。这种光组件因可提供实现了高精度的光学配置的FTIR(傅里叶变换红外光谱分析器)而备受关注。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012-524295号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述那样的光组件中，例如在可动反射镜的尺寸依赖于对SOI基片的深钻加工的成熟度这方面，存在如下所述的课题。即，因为对SOI基片的深钻加工的成熟度最大为500μm左右，所以加大可动反射镜的尺寸来提高FTIR的灵敏度是有限的。因此，考虑将分体形成的可动反射镜安装在器件层(例如，在SOI基片中，形成驱动区域的层)上的技术。

本发明的目的在于，提供一种光组件，其可实现安装于器件层的可动反射镜的可靠移动。

用于解决课题的方法

本发明的一个方面的光组件包括：支承层；设置在支承层上的器件层；和安装于器件层的可动反射镜，器件层具有：用于安装可动反射镜的安装区域；和与安装区域连接的驱动区域，在支承层与器件层之间形成有至少与安装区域和驱动区域对应的空间，安装区域被驱动区域中包含的一对弹性支承区域夹着，由一对弹性支承区域支承。

在该光组件中，在器件层中，安装有可动反射镜的安装区域被一对弹性支承区域夹着，由一对弹性支承区域支承。由此，例如与从安装区域延伸的区域由弹性支承区域支承那样的情况相比，能够使安装有可动反射镜的安装区域稳定地移动。因此，根据该光组件，可实现安装于器件层的可动反射镜的可靠移动。

本发明的一个方面的光组件也可以还包括设置于支承层与器件层之间的中间层，在中间层上形成有开口，空间包括开口内的区域，支承层为SOI基片的第1硅层，器件层为SOI基片的第2硅层，中间层为SOI基片的绝缘层。由此，能够利用SOI基片来适当实现安装于器件层的可动反射镜的用于可靠移动的结构。

在本发明的一个方面的光组件中，在从安装区域进行移动的方向观察的情况下，一对弹性支承区域可以从两侧夹着安装区域。由此，能够简化安装于器件层的可动反射镜的用于可靠移动的结构。

在本发明的一个方面的光组件中，可动反射镜的反射镜面也可以与安装区域交叉。由此，能够使可动反射镜的重心位置接近安装区域，所以能够使安装有可动反射镜的安装区域更稳定地移动。

本发明的一个方面的光组件也可以还包括：固定反射镜，其安装于支承层、器件层、和设置于支承层与器件层之间的中间层中的至少一者；和分束器，其安装于支承层、器件层、和中间层中的至少一者，可动反射镜、固定反射镜和分束器以构成干涉光学系统的方式配置。由此，能够得到提高了灵敏度的FTIR。

本发明的一个方面的光组件也可以还包括：光入射部，其以能够从外部向干涉光学系统入射测量光的方式配置；和光出射部，其以能够从干涉光学系统向外部出射测量光的方式配置。由此，能够得到包括光入射部和光出射部的FTIR。

发明的效果