[发明专利]光组件

权利要求书

1.一种光组件，其特征在于，包括：

支承层；

设置在所述支承层上的器件层；和

安装于所述器件层的可动反射镜，

所述器件层具有：

用于安装所述可动反射镜的安装区域；和

与所述安装区域连接的驱动区域，

在所述支承层与所述器件层之间形成有至少与所述安装区域和所述驱动区域对应的空间，

所述安装区域被所述驱动区域中包含的一对弹性支承区域夹着，由所述一对弹性支承区域支承，

包含所述可动反射镜的反射镜面的面，与包含所述安装区域中与所述空间相反侧的表面的面相交。

2.如权利要求1所述的光组件，其特征在于：

还包括设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层，

在所述中间层上形成有开口，

所述空间包括所述开口内的区域，

所述支承层为SOI基片的第1硅层，

所述器件层为所述SOI基片的第2硅层，

所述中间层为所述SOI基片的绝缘层。

3.如权利要求1所述的光组件，其特征在于：

在从所述安装区域进行移动的方向观察的情况下，所述一对弹性支承区域从两侧夹着所述安装区域。

4.如权利要求2所述的光组件，其特征在于：

在从所述安装区域进行移动的方向观察的情况下，所述一对弹性支承区域从两侧夹着所述安装区域。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于：

所述可动反射镜的反射镜面与所述安装区域交叉。

6.如权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于，还包括：

固定反射镜，其安装于所述支承层、所述器件层、和设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层中的至少一者；和

分束器，其安装于所述支承层、所述器件层、和所述中间层中的至少一者，

所述可动反射镜、所述固定反射镜和所述分束器以构成干涉光学系统的方式配置。

7.如权利要求5所述的光组件，其特征在于，还包括：

固定反射镜，其安装于所述支承层、所述器件层、和设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层中的至少一者；和

分束器，其安装于所述支承层、所述器件层、和所述中间层中的至少一者，

所述可动反射镜、所述固定反射镜和所述分束器以构成干涉光学系统的方式配置。

8.如权利要求6所述的光组件，其特征在于，还包括：

光入射部，其以能够从外部向所述干涉光学系统入射测量光的方式配置；和

光出射部，其以能够从所述干涉光学系统向外部出射所述测量光的方式配置。

9.如权利要求7所述的光组件，其特征在于，还包括：

光入射部，其以能够从外部向所述干涉光学系统入射测量光的方式配置；和

光出射部，其以能够从所述干涉光学系统向外部出射所述测量光的方式配置。