[发明专利]半导体发光模块及其控制方法

说明书

本实施方式所涉及的半导体发光模块包括分别输出所期望的光束投影图案的光的多个半导体发光元件和保持该多个半导体发光元件的支承基板，多个半导体发光元件分别包括用于使目标光束投影图案形成于目标光束投影区域的相位调制层，多个半导体发光元件包括光束投影方向、目标光束投影图案和发光波长中的至少任一者不同的第1和第2半导体发光元件。

技术领域

本发明涉及半导体发光模块及其控制方法。

背景技术

专利文献1中记载的半导体发光元件具有活性层和与活性层光学结合的相位调制层。相位调制层具有基本层和配置在基本层内的多个不同折射率区域。专利文献1中记载的半导体发光元件输出与多个不同折射率区域的配置图案对应的光束图案(光束投影图案)的光。即，多个不同折射率区域的配置图案根据作为目标的光束图案设定。在专利文献1中，对这样的半导体发光元件的应用例也有所记载。上述应用例将各自输出的激光光束的方向不同的多个半导体发光元件在支承基板上呈一维或二维排列。而且，上述应用例以通过将所排列的多个半导体发光元件依次点亮而对对象物扫描激光光束的方式构成。上述应用例应用于通过对对象物扫描激光光束而进行至对象物的距离测定、对象物的激光加工等中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2016/148075号

非专利文献

非专利文献1：Y.Kurosaka et al.，“Effects of non-lasing band in two-dimensional photonic-crystal lasers clarified using omnidirectional bandstructure，”Opt.Express 20，21773-21783(2012)

非专利文献2：K.Sakai et al.，“Coupled-Wave Theory for Square-LatticePhotonic Crystal Lasers With TE Polarization，”IEEE J.Q.E.46，788-795(2010)

非专利文献3：Peng，et al.，“Coupled-wave analysis for photonic-crystalsurface-emitting lasers on air holes with arbitrary sidewalls，”Optics ExpressVol.19，No.24，pp.24672-24686(2011).

发明内容

发明所要解决的问题

发明人对上述的现有技术进行了研究，结果发现了以下问题。即，专利文献1中记载的半导体发光元件尽管是能够进行各种应用的元件，但是专利文献1中记载的应用例也非常有限。因此，寻求能够将专利文献1中记载的半导体发光元件的应用范围进一步扩大的半导体发光模块。

本发明是为了解决上述那样的问题而完成的发明，其目的在于提供能够进一步扩大上述专利文献1中记载的半导体发光元件的应用范围的半导体发光模块及其控制方法。

解决问题的技术手段

本实施方式所涉及的半导体发光模块包括多个半导体发光元件和用于保持该多个半导体元件的支承基板。多个半导体发光元件分别具有输出光的第1面和与该第1面相对的第2面。支承基板具有第3面、与该第3面相对的第4面和与多个半导体发光元件分别对应的、配置在该第3面上的多个驱动电极。多个半导体发光元件以该多个半导体发光元件的第2面与第3面隔着多个驱动电极而相对的状态载置在该第3面上。