[发明专利]液滴喷出装置

说明书

提供能够通过简单的结构而顺畅地喷出液滴的液滴喷出装置。液滴喷出装置(10)具有：液体贮存部(11)，其具有液体喷出口(11e)；隔膜(12)，其使液体贮存部(11)的容积改变；压电元件(13)，其对隔膜(12)施加加压振动；以及控制部(14)，其向压电元件(13)输出驱动电压信号(VR)。驱动电压信号(VR)包含喷出信号(VP)和振幅比喷出信号(VP)的振幅小的高频信号(VQ)。

技术领域

本发明涉及液滴喷出装置。

背景技术

利用压电效应进行从电能向机械能的能量转换的压电元件由于响应性优异，因此在半导体、印刷、化学药品等广泛的领域中被用于将液体作为液滴喷出到对象物的表面的液滴喷出装置。

但是，压电元件的移位量微小，无法对液体施加充分的压力，因此有时无法顺畅地喷出液滴。

因此，提出了设置用于增大压电元件的移位量的移位扩大机构的方法(参照专利文献1和专利文献2)、设置用于使液体的粘度降低的加热装置的方法(参照专利文献3和专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-349387号公报

专利文献2：日本特开2008-054492号公报

专利文献3：日本特开2003-103207号公报

专利文献4：日本特开2000-317371号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在专利文献1～4的方法中，液滴喷出装置的结构复杂化或大型化。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供能够通过简单的结构而顺畅地喷出液滴的液滴喷出装置。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式的液滴喷出装置具有：液体贮存部，其具有液体喷出口；隔膜，其使液体贮存部的容积改变；压电元件，其对隔膜施加加压振动；以及控制部，其向压电元件输出驱动电压信号。驱动电压信号包含喷出信号和振幅比喷出信号的振幅小的高频信号。

发明效果

根据本发明的一个方式，能够提供能够通过简单的结构而顺畅地喷出液滴的液滴喷出装置。

附图说明

图1是示出实施方式的液滴喷出装置的结构的示意图。

图2是示出喷出信号的一例的波形图。

图3是示出高频信号的一例的波形图。

图4是示出驱动电压信号的一例的波形图。

图5是示出压电元件的振幅的推移的曲线图。

图6是示出液体喷出口附近的液体的形状的示意图。

图7是示出驱动电压信号的一例的波形图。

图8是示出驱动电压信号的一例的波形图。

图9是示出驱动电压信号的一例的波形图。

图10是示出驱动电压信号的一例的波形图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一个实施方式的外观检查装置进行说明。但是，本发明的范围不限于以下的实施方式，能够在本发明的技术思想的范围内任意地变更。另外，在以下的附图中，为了易于理解各结构，有时使各构造中的比例尺和数量等与实际构造中的比例尺和数量等不同。

(液滴喷出装置10的结构)