[发明专利]弹性波装置

说明书

提供一种能够在维持主模式的良好特性的同时抑制高阶模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：材料层(2)，具有欧拉角且欧拉角下的弹性常数由下述的式(1)来表示；压电体(3)，具有相互对置的第1主面以及第2主面，直接或间接地层叠于材料层(2)，具有欧拉角且欧拉角下的弹性常数由下述的式(1)来表示；和IDT电极(4)，设置在压电体(3)的第1主面(3a)以及第2主面(3b)之中的至少一方，由电极指间距规定的波长为λ，C₅₆与C₅₆之积为正的值，并且材料层(2)的C₅₆的绝对值大于压电体(3)的C₅₆的绝对值。[数学式1]

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，提出了各种在由硅构成的支承基板上直接或间接地层叠有压电体的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1以及2记载的弹性波装置中，在硅基板上隔着SiO₂膜层叠有由LiTaO₃构成的压电体。在下述的专利文献3记载的弹性波装置中，在硅的(111)面、(100)面或(110)面上隔着SiO₂膜层叠有由LiTaO₃构成的压电体。

在专利文献3中，通过利用(111)面，从而能够提高耐热性。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-55070号公报

专利文献2：日本特开2005-347295号公报

专利文献3：日本特开2010-187373号公报

发明内容

发明要解决的课题

在如专利文献1～3记载的那样的以往的弹性波装置中，能够使作为所利用的弹性波的主模式的能量集中在压电体内。但是，已知存在不仅仅是主模式而位于主模式的高频侧的高阶模式也同时陷获在压电体内的情况。因此，高阶模式成为杂散，存在弹性波装置的特性劣化的问题。

本发明的目的在于，提供一种能够在维持主模式的良好特性的同时抑制高阶模式的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明涉及的弹性波装置，具备：材料层，具有欧拉角且所述欧拉角下的弹性常数由下述的式(1)来表示；压电体，具有相互对置的第1主面以及第2主面，直接或间接地层叠于所述材料层以使得所述第2主面处于所述材料层侧，具有欧拉角且所述欧拉角下的弹性常数由下述的式(1)来表示；和IDT电极，设置在所述压电体的所述第1主面以及所述第2主面之中的一方，由电极指间距规定的波长为λ，所述压电体的C₅₆与所述材料层的C₅₆之积为正的值，并且，所述材料层的C₅₆的绝对值大于所述压电体的C₅₆的绝对值。

[数学式1]

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方式中，所述式(1)中的弹性常数c_ab由(c_ab)＝[α]^-1 [c_ab⁰] [β]来导出。另外，α以及β如下。

[数学式2]

此外，α以及β中的l₁～l₃、m₁～m₃以及n₁～n₃如下。