[发明专利]光检测器在审
| 申请号: | 201880014772.7 | 申请日: | 2018-02-05 |
| 公开(公告)号: | CN110352335A | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
| 发明(设计)人: | 笠森浩平;山崎理弘;柴山胜己 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G01J1/02 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基底层 角部 容纳空间 支撑基板 焊料层 光检测器 光透过 基板 测辐射热计 光检测元件 一体地形成 第二表面 第一表面 气密 密封 配置 | ||
1.一种光检测器,其特征在于,
具备:
支撑基板;
光透过基板,其配置在所述支撑基板上,并且与所述支撑基板形成容纳空间;
光检测元件,其以位于所述容纳空间的方式设置于所述支撑基板,具有电阻根据光经由所述光透过基板入射时产生的热量而变化的测辐射热计层;
第一基底层,其以当从所述支撑基板的厚度方向观察时包围所述光检测元件的方式,设置于所述支撑基板的所述光透过基板侧的第一表面;
第二基底层,其以当从所述支撑基板的厚度方向观察时包围所述光检测元件并且与所述第一基底层重叠的方式,设置于所述光透过基板的所述支撑基板侧的第二表面;
焊料层,其配置在所述第一基底层和所述第二基底层之间,将所述支撑基板和所述光透过基板互相固定并且气密地密封所述容纳空间;以及
加强部,其通过与所述焊料层相同的材料与所述焊料层一体地形成,
所述第一基底层具有第一角部,
所述第二基底层具有当从所述支撑基板的厚度方向观察时与所述第一角部重叠的第二角部,
所述加强部在从所述支撑基板的厚度方向观察时互相重叠的所述第一角部和所述第二角部的内侧到达所述第一表面侧和所述第二表面侧的至少一方。
2.根据权利要求1所述的光检测器,其特征在于,
具备多个所述光检测元件,
多个所述光检测元件配置成二维矩阵状。
3.根据权利要求1或2所述的光检测器,其特征在于,
所述加强部至少到达所述第二表面侧。
4.根据权利要求1~3中任意一项所述的光检测器,其特征在于,
所述第一基底层具有从所述支撑基板的厚度方向观察时夹着所述容纳空间而互相相对的一对所述第一角部,
所述第二基底层具有从所述支撑基板的厚度方向观察时与一对所述第一角部分别重叠的一对所述第二角部,
所述加强部配置于从所述支撑基板的厚度方向观察时互相重叠的一方的所述第一角部和一方的所述第二角部的内侧、以及从所述支撑基板的厚度方向观察时互相重叠的另一方的所述第一角部和另一方的所述第二角部的内侧的各个。
5.根据权利要求1~4中任意一项所述的光检测器,其特征在于,
所述加强部的内缘从所述支撑基板的厚度方向观察时弯曲成凹状。
6.根据权利要求1~5中任意一项所述的光检测器,其特征在于,
进一步具备:引导部,其以位于从所述支撑基板的厚度方向观察时互相重叠的所述第一角部及所述第二角部与所述光检测元件之间的方式,设置于所述第一表面和所述第二表面的至少一方,
相对于形成所述加强部的材料的所述引导部的润湿性高于相对于形成所述加强部的材料的所述支撑基板和所述光透过基板的湿润性,
所述加强部到达所述引导部。
7.根据权利要求1~6中任意一项所述的光检测器,其特征在于,
在所述第一表面和所述第二表面的至少一方,以通过从所述支撑基板的厚度方向观察时互相重叠的所述第一角部及所述第二角部与所述光检测元件之间的方式形成有槽。
8.根据权利要求1~7中任意一项所述的光检测器,其特征在于,
在所述光透过基板,形成有构成所述容纳空间的一部分的凹部,
所述加强部到达所述凹部内。
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