[实用新型]一种低压扩散炉有效
| 申请号： | 201822264582.0 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209854284U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 丁志强;刘列;彭云 | 申请（专利权）人： | 天合光能股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 33233 浙江永鼎律师事务所 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213022 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散炉 本实用新型 真空泵 炉管 炉体 推进气缸组件 驱动 炉门关闭 炉门开启 密封管道 气缸组件 外部管路 进气源 常压 炉门 松开 压紧 闲置 退出 改进 | ||
【权利要求书】：
1.一种低压扩散炉，包括炉体，所述炉体包括炉管以及炉门，其特征在于，还包括真空泵、驱动炉门开启的退出推进气缸组件以及驱动炉门关闭的压紧松开气缸组件，所述炉管的尾部包括两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。
2.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述真空泵采用变频自动控制的耐腐蚀隔膜泵。
3.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述外部管路上设置有控制气源压力大小的压力控制器。
4.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门包括炉门主体，所述炉门主体上设置有密封圈。
5.如权利要求4所述的低压扩散炉，其特征在于，所述密封圈上设置有隔辐射传热隔块。
6.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉管的上套设于水套，所述水套上设置有供冷却水通过的水路结构。
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