[实用新型]扫描隧道显微镜针尖传递托有效
申请号: | 201822252480.7 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209590070U | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 梅红萍;李昂 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01Q60/16 | 分类号: | G01Q60/16 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通孔 扫描隧道显微镜针尖 弹性固定部 第一表面 底座 传递 弹性部件 针尖 本实用新型 限位台阶面 中心线重合 超高真空 传递方式 第二表面 联合系统 面相接触 水平传递 水平截面 限位台阶 原位处理 杂质污染 | ||
1.一种扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于,所述针尖传递托包括:
第一单元,所述第一单元包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面;所述第一单元的传递方式包括水平传递;
底座,所述底座位于所述第一表面上,并与所述第一单元相连接,所述底座包括第一通孔及第二通孔,所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径,且所述第一通孔与所述第二通孔的中心线重合,从而在所述第一通孔及第二通孔之间形成限位台阶面;
弹性部件;所述弹性部件包括顶部、底部及位于所述顶部与底部之间的弹性固定部;
其中,所述顶部与所述限位台阶面相接触,所述底部与所述第一表面相接触,所述弹性固定部的水平截面距离小于所述第二通孔的直径;
扫描隧道显微镜针尖托,所述扫描隧道显微镜针尖托通过所述弹性固定部固定。
2.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述第一单元包括旗帜型样品托。
3.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述扫描隧道显微镜针尖托包括连接凹槽,所述弹性固定部与所述连接凹槽相接触。
4.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述弹性部件包括铍铜弹性部件。
5.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述弹性部件包括叶片式弹簧片,所述叶片式弹簧片的弹簧叶片数量包括2片~6片。
6.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述底座与所述第一单元的连接方式包括旋转式卡固连接、卡扣连接、螺纹连接、销连接、铆连接、焊连接中的一种或组合。
7.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述底座与所述第一单元通过沉头螺丝进行螺纹连接。
8.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述针尖传递托应用的温度条件包括室温或液氮条件。
9.根据权利要求1所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述第一单元及所述底座具有相同的材料;所述扫描隧道显微镜针尖托包括铍铜扫描隧道显微镜针尖托或无氧铜扫描隧道显微镜针尖托。
10.根据权利要求9所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述第一单元为不锈钢第一单元,所述底座为不锈钢底座。
11.根据权利要求1~10中任一所述的扫描隧道显微镜针尖传递托,其特征在于:所述针尖传递托应用于包括扫描隧道显微镜的超高真空联合系统中,所述超高真空联合系统中还包括分子束外延及角分辨光电子能谱中的一种或组合。
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