[实用新型]用于基板传送系统的提升机构及基板传送系统

说明书

本实用新型涉及提升机械技术领域，尤其涉及一种用于基板传送系统的提升机构。所述提升机构包括：至少一对链轮组件，每一对链轮组件中的两个分别设置在支撑架的两侧；所述支撑架用于固定待提升的基板；所述链轮组件包括第一滚轮、第二滚轮和绕设在所述第一滚轮和第二滚轮上的链条；所述第一滚轮设置于基板提升的起始位置的下方，所述第二滚轮设置于基板提升的目标位置的上方，所述链轮组件的链条均与所述支撑架连接；驱动组件，与所述第一滚轮或第二滚轮连接，用于驱动所述第一滚轮或第二滚轮转动，以通过所述链条带动所述支撑架上升或下降。本实用新型解决了现有技术中提升机构易损坏，使用寿命短的问题。

技术领域

本实用新型涉及提升机械技术领域，具体涉及用于基板传送系统的提升机构及基板传送系统。

背景技术

磁控溅射设备的工作原理是采用高能量粒子轰击靶材表面，使靶材发生溅射，溅射飞散的材料粒子附着于基板上制成薄膜。其中，基板例如可以是大尺寸的玻璃。

在现有的磁控溅射设备中，基板传送系统包括基板装载机构和提升机构。其中，基板装载机构用于固定基板，提升机构用于提升基板以及固定基板的基板装载机构。装载基板后，基板装载机构总的重量比较大，例如约为100kg。已有提升机构通常利用滚珠丝杠驱动基板装载机构上下运动。当使用一根滚珠丝杠时，滚珠丝杠一般需要设置于整个装置的中部，但这样不利于基板装载机构进出腔室；而且滚珠丝杠中的滚珠承受的压力过大，可能会出现破碎现象。当使用两根以上的滚珠丝杠，例如两根滚珠丝杠时，则由于两根滚珠丝杠对应的马达存在微小的异步，这会导致套设在一根或两根滚珠丝杠端部的轴套偏斜，导致滚珠丝杠的表面出现褶皱，滚珠丝杠的表面褶皱会强烈地挤压滚珠，最终可能会导致滚珠碎裂，提升机构停止运转；当滚珠丝杠为多根时，更容易出现马达不同步的现象。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种不易损坏，且可以长时间使用的用于基板传送系统的提升机构及具有其的基板传送系统，从而克服现有技术中基板传送系统的提升机构易损坏，使用寿命短的缺陷。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了用于基板传送系统的提升机构，包括：

至少一对链轮组件，每一对链轮组件中的两个分别设置在支撑架的两侧；所述支撑架用于固定承载待提升的基板装载器，所述基板装载器用于装载基板；所述链轮组件包括第一滚轮、第二滚轮和绕设在所述第一滚轮和第二滚轮上的链条；所述第一滚轮设置于提升的起始位置的下方，所述第二滚轮设置于提升的目标位置的上方，所述链轮组件的链条均与所述支撑架连接；

驱动组件，与所述第一滚轮或第二滚轮连接，用于驱动所述第一滚轮或第二滚轮转动，以通过所述链条带动所述支撑架上升或下降。

可选的，所述链条均与所述支撑架相对的两端可拆卸连接。

可选的，所述支撑架相对的两端均设置有安装部，所述链轮组件的链条上设置有与所述安装部适配的固定组件。

可选的，所述链条上设置有圆环，所述支撑架的安装部设置有相适配的挂钩；或者，所述支撑架的安装部设置有圆环或安装孔，所述链条上设置有相适配的挂钩。

可选的，还包括用于固定所述第二滚轮的悬挂组件；所述悬挂组件包括连杆和设于所述连杆两端的两个悬吊件，一对链轮组件中的两个第二滚轮分别安装在两个所述悬吊件上。

可选的，所述驱动组件与所述第一滚轮连接。

可选的，所述驱动组件包括马达。

可选的，所述的提升机构包括水平传送模块和基板装载模块；

所述基板装载模块用于在所述提升机构将所述基板装载器提升到所述目标位置后，将基板装载到所述基板装载器；

所述水平传送模块设置在提升的所述目标位置，用于在所述基板装载器装载基板后，将装载有基板的所述基板装载器向下一工序传送。