[实用新型]一种便于蒸发源拆装的装置

说明书

本实用新型提供了一种便于蒸发源拆装的装置，包括：底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同。本实用新型中利用伸缩机构沿着蒸发源的安装方向运动，进而带动连接在伸缩机构上的蒸发源从安装法兰上分离，拆装简单便捷，不需要人工施力辅助拆装，省时省力。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种便于蒸发源拆装的装置。

背景技术

在真空镀膜技术中，蒸发使用的源材料消耗完毕时，需要对蒸发源进行拆卸更换。现有技术中的蒸发源固定在蒸发腔体的安装法兰上，且蒸发源与水平面间存在35度的倾斜角。

目前蒸发源在拆装时主要通过人工利用支撑杆，通过水平方向和竖直方向的配合移动将蒸发源从安装法兰上拆下，因蒸发源本身较重，人工拆装时，移动的速度不易控制，容易磕碰到蒸发源上的加热器，拆装过程费时费力。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中蒸发源拆装不便的问题，从而提供一种变故蒸发源拆装的装置。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种便于蒸发源拆装的装置，底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同。

进一步地，所述伸缩机构包括：伸缩轴；气缸安装座，设置在所述底盘上；气缸，一端连接在所述气缸安装座上，另一端连接所述伸缩轴，所述气缸带动所述伸缩轴作伸缩往复运动。

进一步地，所述蒸发源的外表面设置吊孔，所述伸缩轴的一端伸入所述吊孔内，并锁付在所述吊孔上。

进一步地，本实用新型中的便于蒸发源拆装的装置还包括导向支撑组件，一端设置在所述底盘上，另一端支撑所述蒸发源。

进一步地，所述导向支撑组件包括：液压缸，设置在所述底盘上；液压杆，连接在所述液压缸上，液压缸驱动液压杆支撑或分离于所述蒸发源。

进一步地，所述导向支撑组件还包括：导向槽，设置在所述液压杆上，所述蒸发源的外表面部分容置在所述导向槽内。

进一步地，所述导向槽呈圆弧状，其内表面贴合于所述蒸发源的外表面。

进一步地，本实用新型中的便于蒸发源拆装的装置还包括：移动机构，设置与所述底盘底部，用于支撑并移动所述底盘。

进一步地，本实用新型中的便于蒸发源拆装的装置还包括：升降装置，设于所述底盘底部与所述移动机构之间。

进一步地，所述移动机构为四个安装在所述底盘底部的万向轮。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的便于蒸发源拆装的装置，包括：底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同。

与现有技术中的人工拆卸相比，本实用新型中利用伸缩机构的伸缩端沿着蒸发源的安装方向运动，进而带动连接在伸缩机构上的蒸发源从安装法兰上分离或靠近，拆装简单便捷，不需要人工施力辅助拆装，省时省力。

2.本实用新型提供的便于蒸发源拆装的装置中利用气缸驱动伸缩轴，可通过调节气缸的气量的大小来控制蒸发源的拆分速度，实现了拆装速度的可调，适应不同的工况下，尽可能的提高工作效率。