[实用新型]一种单晶硅棒夹持装置用防水底座

说明书

本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域，尤其涉及一种单晶硅棒夹持装置用防水底座，所述单晶硅棒夹持装置用防水底座包括基座、顶板、及两个侧板；所述顶板位于基座上，且通过相对设置的两个侧板与基座连接；所述顶板、两个侧板及基座围成通道，所述通道用于容纳驱动单晶硅棒夹持装置移动的运动组件；所述侧板开设有条形开口，所述条形开口的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致；单晶硅棒夹持装置通过条形开口与运动组件传动连接。本实用新型通过基座、顶板及侧板围成防水的通道，使得设置在通道内的运动组件与喷淋液完全隔绝，因此，本实用新型具有能够有效地防止喷淋液渗透至运动组件内，导致运动组件生锈损坏的优点。

技术领域

本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域，尤其涉及一种单晶硅棒夹持装置用防水底座。

背景技术

单晶硅棒加工装置是用于将柱状的单晶硅棒切割成段或切割成片的设备，在切割的过程中为了给用于切割的线锯切割机构降温，需要在线锯切割机构切割单晶硅棒的过程中喷淋喷淋液。

由于单晶硅棒加工装置由各种机械部件组成，喷淋液难免会淋到各种机械部件处，这样则会导致机械部件生锈无法，特别是用于驱动单晶硅棒夹持装置移动的运动组件，运动组件设置在底座处，在喷淋液进入底座后会导致运动组件锈死而无法使用，进而直接影响整个单晶硅棒加工装置的正常运行。

为了避免运动组件锈死而无法使用，现有的单晶硅棒夹持装置的底座采用三防布遮挡喷淋液，由于在切割过程中会产生破碎硅片，破碎硅片容易导致三防布破碎，致使喷淋液依旧会进入底座内导致运动组件锈死。

实用新型内容

为此，需要提供一种单晶硅棒夹持装置用防水底座,以解决现有技术中的单晶硅棒夹持装置的底座未能有效地防止喷淋液淋到运动组件，从而导致运动组件生锈无法使用的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种单晶硅棒夹持装置用防水底座，包括基座、顶板、及两个侧板；

所述顶板位于基座上，且通过相对设置的两个侧板与基座连接；所述顶板、两个侧板及基座围成通道，所述通道用于容纳驱动单晶硅棒夹持装置移动的运动组件；

所述侧板开设有条形开口，所述条形开口的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致；单晶硅棒夹持装置通过条形开口与运动组件传动连接。

进一步地，所述顶板由中部向两侧边倾斜设置。

进一步地，所述顶板及两个侧板的材质为不锈钢、铁或铜。

进一步地，所述通道的两端口分别设置有端板，所述端板用于密封通道的两个端口。

进一步地，所述基座设置有直线滑轨，所述直线滑轨位于通道内，且直线滑轨的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致。

进一步地，所述直线滑轨设置有两个，两个直线滑轨平行设置。

进一步地，两个侧板均开设有条形开口，且两个条形开口相对设置；

还包括移动支架，所述移动支架的底部设置有两个滑块，所述滑块的底部均开设有与直线滑轨相适配的滑槽；所述移动支架位于通道内，且移动支架的两侧边均由条形开口穿至通道外；两个滑块分别通过滑槽可滑动地设置于两个滑轨处；

单晶硅棒夹持装置与移动支架穿于条形开口外的侧边连接，运动组件与移动支架传动连接。

进一步地，两个直线滑轨的底部均设置于有垫块，所述移动支架的中部向上凸起。