[实用新型]一种单晶硅棒夹持装置用防水底座

权利要求书

1.一种单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，包括基座、顶板、及两个侧板；

所述顶板位于基座上，且通过相对设置的两个侧板与基座连接；所述顶板、两个侧板及基座围成通道，所述通道用于容纳驱动单晶硅棒夹持装置移动的运动组件；

所述侧板开设有条形开口，所述条形开口的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致；单晶硅棒夹持装置通过条形开口与运动组件传动连接。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，所述顶板由中部向两侧边倾斜设置。

3.根据权利要求1所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，所述顶板及两个侧板的材质为不锈钢、铁或铜。

4.根据权利要求1所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，所述通道的两端口分别设置有端板，所述端板用于密封通道的两个端口。

5.根据权利要求1所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，所述基座设置有直线滑轨，所述直线滑轨位于通道内，且直线滑轨的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致。

6.根据权利要求5所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，所述直线滑轨设置有两个，两个直线滑轨平行设置。

7.根据权利要求6所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，两个侧板均开设有条形开口，且两个条形开口相对设置；

还包括移动支架，所述移动支架的底部设置有两个滑块，所述滑块的底部均开设有与直线滑轨相适配的滑槽；所述移动支架位于通道内，且移动支架的两侧边均由条形开口穿至通道外；两个滑块分别通过滑槽可滑动地设置于两个滑轨处；

单晶硅棒夹持装置与移动支架穿于条形开口外的侧边连接，运动组件与移动支架传动连接。

8.根据权利要求7所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座，其特征在于，两个直线滑轨的底部均设置于有垫块，所述移动支架的中部向上凸起。