[实用新型]一种全方位镀膜装置有效
| 申请号： | 201822199686.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209276623U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 朱杰 | 申请（专利权）人： | 张家港市铭斯特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 马小慧 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空箱体 箱门 工件架 本实用新型 镀膜装置 固定靶 旋转轴 开口 夹具 旋转动力组件 固定产品 溅射镀膜 均匀镀膜 生产过程 真空系统 超厚膜 工业量 破真空 产能 膜厚 伸入 | ||
【权利要求书】：
1.一种全方位镀膜装置，其特征在于，包括真空箱体，所述真空箱体设置有两个相对的开口，两个开口上分别设置有第一箱门和第二箱门，所述第一箱门位于真空箱体内的表面上设置有固定靶，所述第二箱门位于真空箱体内的表面上通过旋转轴与工件架连接，所述工件架内设置有用于固定产品的夹具，所述旋转轴与旋转动力组件连接，所述固定靶伸入工件架内，所述真空箱体与真空系统连接。
2.如权利要求1所述的全方位镀膜装置，其特征在于，所述工件架为桶状结构，所述工件架上设置有两个配合的溅射挡环。
3.如权利要求1所述的全方位镀膜装置，其特征在于，所述真空系统为多级真空器，镀膜时，真空箱体内的真空度至少为10-2。
4.如权利要求1所述的全方位镀膜装置，其特征在于，所述第一箱门和第二箱门均与对应的移动小车连接，所述移动小车设置在移动导轨上。
5.如权利要求4所述的全方位镀膜装置，其特征在于，所述移动小车还与行走动力机构连接。
6.如权利要求1所述的全方位镀膜装置，其特征在于，所述真空箱体位于第一箱门和第二箱门的两端上均设置有法兰环部。
7.如权利要求1所述的全方位镀膜装置，其特征在于，所述旋转动力组件包括配合连接的旋转电机和减速机。
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