[实用新型]一种对激光测距机轴线位置进行检测的装置

权利要求书

1.一种对激光测距机轴线位置进行检测的装置，其特征在于：包括脉冲激光器（101）、扩束镜组（102）、衰减片（103）、光吸收装置（104）、可调光衰减器（108）、CCD（109）和数据处理系统（110）；

所述的脉冲激光器（101）、扩束镜组（102）、衰减片（103）、可调光衰减器（108）和CCD（109）依次沿光轴方向设置，光吸收装置（104）设置于衰减片（103）的下方，数据接收系统（110）设置于CCD（109）后端用于接收CCD（109）光斑进行数据处理；

所述的光吸收装置（104）包括蓝宝石片（105）、TEC（106）和散热片（107）；所述的蓝宝石片（105）、TEC（106）和散热片（107）依次粘接于一体；

所述的衰减片（103）为反射式衰减片，衰减片基底为100晶向GaAs衬底，衬底表面设置若干层反射薄膜，反射薄膜的高低折射率材料为SiO₂/HfO₂，生长的对数为12对；

所述的光吸收装置（104）为亚波长金属光栅，金属光栅材料为金属Au，光栅周期小于入射的光波波长，金属光栅光栅条的方向与激光的偏振方向完全相同，所述的蓝宝石片（105）的衬底片大小与激光束尺寸相等。

2.根据权利要求1所述的一种对激光测距机轴线位置进行检测的装置，其特征在于：所述的脉冲激光器（101）为发射半导体激光器。