[实用新型]一种抛光机研磨液回收循环装置

权利要求书

1.一种抛光机研磨液回收循环装置，其特征在于：包括设置在抛光机主轴四面的柔性透明遮罩和回收抛光液的回收循环水箱，所述回收循环水箱包括设置在四周的回流斜坡面，所述四周的回流斜坡面将抛光机的工作台包围在中间，回流斜坡面的底部与工作台连成一体，工件台上工件座到回收循环水箱之间设置有过滤筛网，回收循环水箱内部设有循环水泵和液面传感器；所述柔性透明遮罩位于回流斜坡面上方。

2.根据权利要求1所述的抛光机研磨液回收循环装置，其特征在于：所述循环水泵的出液口与抛光机上的进液机构相互连通。

3.根据权利要求2所述的抛光机研磨液回收循环装置，其特征在于：所述柔性透明遮罩具有四面，所述四面柔性透明遮罩分别位于主轴的前、后、左、右四个方位；还包括用于控制和调整所述柔性透明遮罩位置和高度的调控机构，所述调控机构包括两个对称设置在抛光机主轴两端吊臂上面的气缸，所述两个气缸倾斜设置，气缸的推杆端部与位于主轴前侧的柔性透明遮罩连接。

4.根据权利要求3所述的抛光机研磨液回收循环装置，其特征在于：所述两个气缸倾斜35-55度。