[实用新型]一种芯片生产用检测装置有效
申请号: | 201822165711.0 | 申请日: | 2018-12-22 |
公开(公告)号: | CN209417231U | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 沈炜东 | 申请(专利权)人: | 全南虔芯半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人: | 刘倩 |
地址: | 341800 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连接横杆 芯片生产 定位槽 横杆 检测 底端 操作台 一步进电机 检测装置 吸风机 转盘 转轴 桌面 吸盘 本实用新型 步进电机 定位槽沿 附属装置 批量检测 芯片损坏 转杆顶端 转盘顶端 桌面顶端 内芯片 伸缩杆 吸入端 液压杆 两组 支腿 转杆 取出 | ||
1.一种芯片生产用检测装置,包括操作台(1)、定位槽(2)和检测端子(3),其特征在于,还包括第一步进电机(4)、第一转轴(5)、转盘(6)、检测液压杆(7)、检测横杆(8)、第一连接横杆(9)、第二连接横杆(10)、第二步进电机(11)和第二转轴(12),操作台(1)包括桌面和支腿,第一步进电机(4)设置在桌面底端右侧,第一步进电机(4)输出端与第一转轴(5)底端连接,第一转轴(5)顶端自桌面底端穿过桌面并与转盘(6)底端中部连接,所述定位槽(2)每四个为一组共八组,每组定位槽(2)沿转盘(6)半径均匀分布在转盘(6)顶端,定位槽(2)与转盘(6)螺装,检测液压杆(7)底端与桌面顶端右侧连接,检测液压杆(7)顶端与检测横杆(8)右端连接,检测横杆(8)底端设置有两组伸缩杆(13),两组伸缩杆(13)底端分别与所述第一连接横杆(9)顶端左侧和右侧连接,第一连接横杆(9)底端与第二连接横杆(10)顶端连接,第二连接横杆(10)底端设置有四组检测端子(3),四组检测端子(3)位于每组定位槽(2)的正上方;所述桌面顶端左侧设置有吸风机(14)和转杆(15),吸风机(14)的吸入端设置有四组吸盘(16),转杆(15)顶端设置有横杆(17),四组吸盘(16)顶端与横杆(17)底端固定连接,所述第二步进电机(11)设置在桌面底端左侧,第二步进电机(11)输出端与第二转轴(12)底端连接,第二转轴(12)顶端自桌面底端穿过桌面并与转杆(15)底端连接。
2.如权利要求1所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于,还包括收集槽(18),收集槽(18)位于所述桌面顶端左后侧,收集槽(18)底端设置有两组“T”型槽(20),桌面顶端设置有两组“T”型轨(19),两组“T”型轨(19)自前向后分别插入两组T型槽内,收集槽(18)可沿“T”型轨(19)前后水平滑动。
3.如权利要求2所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于,还包括条形环轨(21),条形环轨(21)底端与桌面顶端连接,所述转盘(6)底端设置有环形槽(22),条形环轨(21)置于环槽内,条形环轨(21)与环形槽(22)紧密贴合。
4.如权利要求3所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于,所述两组伸缩杆(13)上均设置有弹簧(23),伸缩杆(13)包括上部杆和下部杆,弹簧(23)顶端与上部杆底端连接,弹簧(23)底端与下部杆顶端连接。
5.如权利要求4所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于,所述第一连接横杆(9)与第二连接横杆(10)通过螺栓连接。
6.如权利要求5所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于,所述吸盘(16)底端设置有橡胶套(24)。
7.如权利要求6所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于,所述转杆(15)上设置有支杆(25),支杆(25)顶端与所述横杆(17)连接,支杆(25)底端设置有万向轮(26)。
8.如权利要求7所述的一种芯片生产用检测装置,其特征在于,所述支腿底端设置有防滑垫(27),防滑垫(27)顶端与支腿底端黏连。
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