[实用新型]一种上吸式波纹管除尘工具

说明书

本实用新型提供一种成本低、操作方便、效率高的上吸式波纹管除尘工具，包括内径大于坩埚轴直径、外径小于波纹管内径的薄壁圆筒，薄壁圆筒下端开口、上端设置外接吸尘管的吸尘口；薄壁圆筒外圆周对称设置两个把手，把手下端到薄壁圆筒下端的长度大于波纹管的长度。还包括设置在波纹管上方的升降机构，升降机构的升降端与坩埚轴中心轴线在一条直线上；薄壁圆筒的两个把手与升降端之间设置用于连接把手与升降端的连接架。薄壁圆筒和波纹管之间构成同心圆结构，既满足除尘工具有足够的强度又可以在波纹管与坩埚轴间形成有效的真空腔。利用升降机构实现薄壁圆筒的定位和自动上下移动，操作方便。

技术领域

本实用新型属于单晶炉领域，具体涉及一种上吸式波纹管除尘工具

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长单晶或多晶硅棒的设备。硅棒直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在硅棒拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶硅棒生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理，生长单晶的过程中容易产生各种缺陷，影响硅棒质量。

作为单晶炉至关重要的一部分，坩埚下传动装置起到支撑坩埚、通过旋转上升控制坩埚内部硅料温度的作用：主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成，坩埚下传动装置的运转状态，直接决定了单晶炉是否能够顺利拉制硅棒。

而在实际硅棒拉制过程中，氧化物质会通过坩埚轴托杆与波纹管之间的空隙进入到磁流体转轴与本体集合处，随着物质的积累和旋转的研磨，粉末状氧化物会进入到磁流液填充面，污染磁流液，使磁流体密封状况变差直至失效，导致无法保证单晶炉炉内的真空状态，影响生产正常进行，严重时会损坏磁流体机械部件，造成严重损失。

为了保证坩埚下传动装置运行正常，保证硅棒质量，坩埚轴和波纹管之间的氧化物就需要每一炉硅棒拉制完成后及时清理，由于波纹管与坩埚轴之间的距离仅为7mm，吸尘管难以直接进入进行清理，所以通常的清理方法是维修人员下到炉台基座上，在狭小空间内拆卸波纹管和磁流体连接螺栓，脱开波纹管后使用除尘管道清除氧化物，恢复安装时需要使用酒精和真空脂处理波纹管与磁流体连接处O型圈。此拆卸清理及恢复过程较为繁琐，消耗大量人力，耗时较长，另外，人员上下炉台基座存在较大安全隐患，拆卸装配过程容易损坏元器件或造成真空泄露，带来更大的损失。

专利CN201900121U单晶炉波纹管道清洁器中采用一个管体，管体下部横截面为椭圆形，短轴的长度小于波纹管和坩埚轴的最小距离。管体下部插入波纹管道中清理杂物。这种结构不需要工作人员拆卸波纹管。但是波纹管和坩埚炉之间的距离很小，大约只有7毫米。管道下部很小，需要在波纹管内转动才能吸出氧化物，操作比较麻烦，特别是坩埚比较大的场合。需要一种操作简单、吸取质量好的除尘工具。

发明内容

本实用新型提供一种成本低、操作方便、效率高的上吸式波纹管除尘工具。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：一种上吸式波纹管除尘工具，包括内径大于坩埚轴直径、外径小于波纹管内径的薄壁圆筒，薄壁圆筒下端开口、上端设置外接吸尘管的吸尘口；薄壁圆筒外圆周对称设置两个把手，把手下端到薄壁圆筒下端的长度大于波纹管的长度。

还包括设置在波纹管上方的升降机构，升降机构的升降端与坩埚轴中心轴线在一条直线上；薄壁圆筒的两个把手与升降端之间设置用于连接把手与升降端的连接架。

还包括设置在地面的小车，小车上设置升降机构，薄壁圆筒的两个把手与升降机构的升降端之间设置用于连接把手与升降端的连接架。

升降机构包括设置在小车上的卷扬机，小车上还设置悬臂，悬臂的一端设置导向轮，卷扬机的钢丝绳绕过导向轮向下通过连接架与薄壁圆筒的两个把手相连。