[实用新型]检测装置有效
申请号: | 201822086565.2 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN209311330U | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 李青格乐;陈晓静;方一;陈鲁 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47;G01N21/88 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 颜镝 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 暗场 弯曲检测 线光源 待检测物体 法线 检测装置 线探测器 不平行 出光面 探测光 有效地实现 暗场检测 漫反射光 弯曲表面 弯曲方向 光轴面 散射光 种检测 重合 平行 采集 镜头 | ||
本公开涉及一种检测装置。检测装置包括:暗场线光源(30),设置在具有至少一个弯曲检测表面的待检测物体(10)的一侧,用于向所述弯曲检测表面提供暗场探测光,所述弯曲检测表面在第一弯曲方向上至少有两个位置的法线不平行;和线探测器(20),设置在所述待检测物体(10)的靠近所述暗场线光源(30)的一侧,用于采集所述暗场探测光在所述待检测物体(10)表面的漫反射光或散射光;所述暗场线光源的出光面与所述线探测器(20)的镜头的光轴面平行或重合,且所述暗场线光源的出光面与所述弯曲检测表面的法线不平行。本公开实施例能够有效地实现弯曲表面的暗场检测。
技术领域
本公开涉及检测领域,尤其涉及一种检测装置。
背景技术
自动光学检测(Automatic Optic Inspection,简称AOI)是基于光学原理对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的技术。在AOI中,按照收集信号光的来源可包括明场检测和暗场检测。这两种检测方式可针对于不同的缺陷实现不同的效果。其中,暗场检测是通过探测待测物表面的散射光强度,来实现对待测物表面进行检测的方法。暗场检测对凸起等缺陷的检测可实现更好的灵敏度。
目前主要是针对于平面的明场检测和暗场检测,对于具有曲面的物体来说,曲面弧度会造成反射光位置不同,因此给暗场检测中的信号光收集增加了难度,致使目前尚缺乏对曲面进行暗场检测的成熟方案。
发明内容
有鉴于此,本公开实施例提供一种检测装置,能够有效地实现弯曲表面的暗场检测。
在本公开的一个方面,提供一种检测装置,包括:
暗场线光源,设置在具有至少一个弯曲检测表面的待检测物体的一侧,用于向所述弯曲检测表面提供暗场探测光,所述弯曲检测表面在第一弯曲方向上至少有两个位置的法线不平行;和
线探测器,设置在所述待检测物体的靠近所述暗场线光源的一侧,用于采集所述暗场探测光在所述待检测物体表面的漫反射光或散射光;
其中,所述暗场线光源的出光面与所述线探测器的镜头的光轴面平行或重合,且所述暗场线光源的出光面与所述弯曲检测表面的法线不平行。
在一些实施例中,所述暗场线光源包括至少一个线激光器,能够形成沿所述第一弯曲方向连续覆盖所述弯曲检测表面的检测光斑,所述线探测器的探测区也沿所述第一弯曲方向连续覆盖所述弯曲检测表面。
在一些实施例中,所述暗场线光源和所述线探测器均被配置为相对于所述待检测物体沿垂直于所述第一弯曲方向的方向运动。
在一些实施例中,所述弯曲检测表面包括检测平面和第一检测表面,所述检测平面与所述第一检测表面连接,且所述第一检测表面各点处的法线均与所述检测平面不平行,所述至少一个线激光器包括分别位于所述线探测器的镜头两侧的第一线激光器和第二线激光器,所述第一线激光器在所述检测平面和所述第一检测表面上形成的线光斑与所述第二线激光器在所述检测平面和所述第一检测表面上形成的线光斑至少部分重合。
在一些实施例中,所述第一线激光器的轴线和所述第二线激光器的轴线之间呈0°~30°夹角。
在一些实施例中,所述检测装置还包括:
明场光源组件,用于向所述弯曲检测表面提供探测光,所述线探测器还用于采集所述探测光在所述待检测物体沿所述第一弯曲方向连续的表面的反射光。
在一些实施例中,所述明场光源组件提供的探测光和所述暗场线光源提供的暗场探测光的波长范围不重合,所述线探测器被配置为分别对所述明场光源组件提供的探测光在所述待检测物体表面的反射光和所述暗场线光源提供的暗场探测光在所述待检测物体表面的漫反射光或散射光进行采集。
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