[实用新型]研磨头和化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201822072171.1 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209491637U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 洪波;沈新林;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸附膜 晶圆 研磨头 吹气装置 气体喷嘴 化学机械研磨装置 环形侧壁 外部装置 交界面 吸附 化学机械研磨过程 本实用新型 喷射气体 装卸装置 侧壁部 破片 卸载 正对 环绕 | ||
1.一种研磨头，其特征在于，包括：
吸附膜，所述吸附膜用于吸附晶圆；
外部装置，所述外部装置包括本体部和与本体部连接的环形侧壁部，所述吸附膜位于本体部表面，且被环形侧壁部环绕；
位于侧壁部中的吹气装置，所述吹气装置包括气体喷嘴，所述气体喷嘴正对所述吸附膜与吸附膜上吸附的晶圆之间的交界面，当化学机械研磨过程结束，研磨头需要将吸附膜上的晶圆卸载到晶圆控制装卸装置上时，所述吹气装置通过气体喷嘴向吸附膜与晶圆的交界面喷射气体。
2.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述吹气装置还包括气体输送管道，所述气体输送管道用于输送气体，所述气体输送管道的出口与气体喷嘴连接。
3.如权利要求2所述的研磨头，其特征在于，吹气装置还包括设置于气体输送管道上的控制阀和流速调节阀，所述控制阀用于关闭和打开气体输送管道中的气体的路径，所述流速调节阀用于调节气体输送管道中气体的流速。
4.如权利要求2所述的研磨头，其特征在于，所述气体输送管道包括主管路和与主管路连通的环形管路，所述环形管路设置于环形侧壁部中，环形管路上设置有若干气体喷嘴，若干气体喷嘴与吸附膜与晶圆的交界面处于同一水平高度。
5.如权利要求4所述的研磨头，其特征在于，若干气体喷嘴均匀的分布在环形管路上。
6.如权利要求2所述的研磨头，其特征在于，所述气体为纯氮气。
7.如权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述吸附膜和晶圆的交界面上具有水，气体喷嘴向吸附膜与晶圆的交界面喷射气体时，去除交界面上的水。
8.如权利要求1或7所述的研磨头，其特征在于，研磨头将吸附膜上的晶圆卸载到晶圆控制装卸装置上时，所述吸附膜停止对晶圆的吸附。
9.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的研磨头。
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